Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura MxP #9255443 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9255443
Weinlese: 1996
Etcher
Wide body loadlock
HP Motor
OEM-12B RF Generator
(2) MxP Chambers
Orienter chamber
1996 vintage.
AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA MXP ist ein Reaktor, der für den Gebrauch in der hohen Temperatur, die Hochdruckproduktionsprozesse im Halbleiter entworfen ist, photovoltaisch, GEFÜHRT, und Dünnfilmabsetzungsindustrien. Diese Ausrüstung besteht aus zwei Hauptkomponenten, der Prozesskammer und dem Bedienpult. Die Kammer ist ein Edelstahlzylinder mit einer abnehmbaren Keramikhülse und sorgt für einen effizienteren Wärmetransport bei höheren Temperaturen. Es kann mit Gasdrücken bis zu 5x10-6 Torr und Temperaturbereichen bis zu 1300 ° C umgehen. Die Keramikhülse kann zur Aufnahme von Folien verwendet werden, die auf die Oberfläche des Substrats aufgebracht werden. Die Steuerkonsole wird verwendet, um die Prozessparameter zu steuern, und es enthält eine Touchscreen-Schnittstelle, so dass Benutzer die Einstellungen leicht anpassen können. Der Regler kann alle Parameter in der Kammer überwachen, wie Temperatur, Druck und Zusammensetzung. Es unterstützt auch verschiedene Prozessgase und hat einen erweiterbaren modularen Aufbau, der es ermöglicht, bei Bedarf zusätzliche Komponenten hinzuzufügen. AMAT Centura MxP ist in der Lage, Abscheidungsprozesse wie chemische Dampfabscheidung (CVD) und atomare Schichtabscheidung (ALD) herzustellen. CVD ist der Prozess der Abscheidung von Materialien auf einer Substratoberfläche bei hohen Temperaturen und Drücken. ALD ist ein Verfahren zur Herstellung ultradünner Beschichtungen mit präziser Kontrolle der Dicke und Zusammensetzung. Das System kann auch für eine Vielzahl anderer Verfahren wie Ätzen, dielektrische Bildung und Waferbonden eingesetzt werden. Die Einheit hat eingebaute Gleichförmigkeit und Produktionsgleichförmigkeitskontrolleigenschaften, die für verschiedene Materialien und Prozesse angepasst werden können. Seine erweiterten Diagnosetools können zur Alarmüberwachung, Maschinenkalibrierung und Optimierung verwendet werden. Die intuitive Touchscreen-Oberfläche ermöglicht eine einfache Einrichtung und Planung von Prozessen. ANGEWANDTE MATERIALIEN Die Centura MxP entspricht ebenfalls den Rohs-Standards und verfügt über ein Energy Star Rating für Effizienz und Sicherheit. Centura MxP ist ein effizienter und zuverlässiger Reaktor, der für Hochtemperatur- und Hochdruckprozesse in der Halbleiter-, Photovoltaik-, LED und Dünnschichtabscheidungsindustrie eingesetzt werden kann. Die robuste Konstruktion, das modulare Design, die intuitive Touchscreen-Benutzeroberfläche und die fortschrittlichen Diagnosetools sind nur einige der Funktionen, die es zu einer guten Wahl für Produktionsabläufe machen.
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