Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura MxP #9262650 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9262650
Weinlese: 1999
Dry etcher
(3) Chambers (Poly + Poly + Oxide)
(2) Heat exchangers
NESLAB
1999 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura MxP Reactor ist ein hochmodernes PECVD (Plasma-Enhanced Chemical Vapour Deposition) -Werkzeug zur Abscheidung von dünnen Filmen. Es wurde entwickelt, um eine überlegene Gleichmäßigkeit der Abdeckung über eine Vielzahl von Substratformen und -größen zu gewährleisten. Der MxP-Reaktor besteht aus einer Vakuumkammer, einer Elektrodenanordnung und einer HF-Stromversorgung. Die Vakuumkammer ist dicht ausgebildet und ermöglicht die Abscheidung hochwertiger dünner Filme mit minimaler Verschmutzung. Die Kammer hat eine hochtemperaturbeständige (HTR) Auskleidung, um Schäden am Innenraum zu verhindern. Die Elektrodenanordnung umfasst zwei planare Elektroden mit einstellbaren Spannungs- und Stromeinstellungen, die eine Feinabstimmung der Verarbeitungsparameter ermöglichen. Das HF-Netzteil enthält eine einstellbare Frequenz, die hohe Abscheideraten ermöglicht. Der MxP Reactor ist flexibel und zuverlässig und eignet sich somit für eine Vielzahl von hochpräzisen Dünnschichtabscheidungsaufgaben. Der MxP-Reaktor ist in der Lage, eine Vielzahl von Materialien abzuscheiden, darunter Silizium, Polysilizium, Siliziumnitrid und Galliumarsenid. Die thermische Leistung des Reaktors ist auch ausgezeichnet, mit präzisen Temperaturkontrollfunktionen, die gleichmäßige Abscheideraten über Substrate verschiedener Formen und Größen bereitstellen. Der MxP-Reaktor zeichnet sich zudem durch eine gute Plasmaätzselektivität aus, die eine gleichmäßige Entfernung verschiedener Materialien vom Substrat ohne Beschädigung der Gesamtstruktur ermöglicht. Die Plasmaätzselektivität des MxP Reators wird durch seine einfach zu bedienende Kammerreinigungsanlage und das zweikanalige Gassublimationssystem weiter verbessert. Die robuste Bauweise des MxP Reactors zeichnet sich ebenfalls durch eine Innenkammer aus Edelstahl und ein Außengehäuse aus Aluminiumlegierung aus. Dies sorgt für eine leichte und robuste Einheit, die bei minimaler Wartung für lange Betriebsdauer geeignet ist. Der MxP Reactor verfügt zudem über einen praktischen Bildschirm, der klare und leicht lesbare Informationen über Temperatur, Drücke und Prozessbedingungen in der Kammer liefert. Die komfortable Überwachungseinheit ermöglicht es den Betreibern, die Gesamtleistung in Echtzeit zu verfolgen und ihnen die Sicherheit zu geben, hochpräzise Dünnschichtabscheidungsaufgaben durchzuführen. Abschließend ist AMAT Centura MxP Reactor eine zuverlässige und vielseitige PECVD-Maschine, die sich gut für die Abscheidung von dünnen Schichten auf verschiedenen Substraten eignet. Es zeichnet sich durch hervorragende thermische Leistung und Plasmaätzselektivität sowie eine robuste Konstruktion für den Langzeitbetrieb ohne übermäßige Wartung aus. Der praktische Bildschirm ermöglicht es dem Bediener, die Gesamtleistung in Echtzeit zu überwachen und bietet eine vollständige Kontrolle über den Abscheidungsprozess.
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