Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Phase II #9281493 zu verkaufen
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Phase II ist eine hocheffiziente Reaktoranlage mit mittlerem Durchsatz, die hohe Qualität, Prozesswiederholbarkeit und Produktivität bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen bietet. AMAT Centura Phase II ist speziell für die Herstellung von Hochvolumen-Halbleiterprozessen konzipiert und wird für verschiedene Anwendungen wie verwendet; Gate Etch, Interlevel Dielektric (ILD) Abscheidung, Etch Stop Overlayers, Integration von Nitrid Grabenfüllung und n-Typ Diffusion Barriereschichten. ANGEWANDTE MATERIALIEN Centura Phase II ist in der Lage, eine breite Palette von Abscheideprozessen mit hohem Volumen zu verarbeiten, wodurch Geräte mit komplexen Strukturen und hoher Wiederholbarkeit und Zuverlässigkeit hergestellt werden können. Die Prozessflexibilität des Reaktors ermöglicht es Kunden, eine Vielzahl von Prozesszielen im Vergleich zu herkömmlichen Anlagenlösungen unterzubringen. Centura Phase II ist mit einem patentierten, auf zwei Kassetten basierenden Ladesystem ausgestattet, mit reduzierten Be- und Entladezeiten (bis zu 15 Sekunden) ohne Kompromisse bei der Vakuumintegrität. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Phase II ist darüber hinaus mit einem Mehrzonen-Temperiermodul ausgestattet, das ein präzises Wärmemanagement, Temperaturoptimierung und genaue Wiederholbarkeit ermöglicht. AMAT Centura Phase II bietet mehrere zusätzliche Funktionen, darunter eine schnelle Recycling-Nachabscheidung, die einen sehr hohen Durchsatz und Prozesseffizienz bietet. Darüber hinaus ermöglicht die robuste Pulsmodusregelung eine präzise Echtzeitsteuerung der Foliendicke ohne Nachjustierung der Reaktionsparameter zur Herstellung hochwertiger Folien. Darüber hinaus kombiniert die vollautomatisierte Auslieferungseinheit mehr als ein Dutzend prozessrelevanter Parameter und kann von einem Host-PC aus fernüberwacht und konfiguriert werden. Darüber hinaus umfasst APPLIED MATERIALS Centura Phase II eine robuste Hardwareplattform mit ausgeglichenem Prozesskammerdruck und Gesamtmaschinenleistung, die eine verbesserte Kammerreinigungstemperatur, Zykluszeit und Abscheidungsgleichmäßigkeit ermöglicht. Centura Phase II unterstützt auch Batch- und Rush-Workloads sowie erweiterte Betriebszyklen mit einer reduzierten Ausfallzeit. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Phase II ist eine ideale Lösung für die hochvolumige Halbleiterherstellung und sehr zuverlässig für die Herstellung von hochwertigen und zuverlässigen Bauelementen mit ausgezeichneter Prozesswiederholbarkeit. Das Werkzeug bietet einen hohen Durchsatz, Niedertemperaturbetrieb und kostengünstige, prozessspezifische Modifikationen je nach Anforderung.
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