Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura PVD #9244056 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura PVD (Physical Vapor Deposition) Ausrüstung ist eine Ultra-High-Vakuum-Kammer entwickelt, um Abscheidungsprozesse mit Sputtern und/oder Verdampfung durchzuführen. Das System besteht aus zwei unterschiedlichen Kammern, einer Vakuumabscheidekammer für den Abscheidevorgang und einer den Lastschloßschacht aufnehmenden Abgaskammer. Die Vakuumkammer besteht aus zwei Hauptkomponenten: der Reaktionskammer und der Quellkammer. Die Reaktionskammer besteht aus Edelstahl und ist mit einer oberen Tür installiert, die sich zum Be- und Entladen öffnet. Es verfügt auch über einen Viewport, ein Manometer, einen Entlüftungsanschluss, ein Vakuumventil und einen Vakuumpumpenanschluss. Im Inneren der Reaktionskammer befindet sich eine Graphit-Suszeptorplatte, die auf einer Heizeinheit aufliegt. Die Quellkammer ist eine kleinere Kammer, die üblicherweise zur Verdampfung mit angeschlossenem Abgaskanal verwendet wird. Es hat auch einen Manometer, eine Entlüftungsöffnung und ein Trennventil. Das Gerät wird mit einem einphasigen Wechselstrommodul betrieben und mit einer Reihe verschiedener Gase und Flüssigkeiten betrieben. Die zu deponierende Materialquelle wird durch einen Tiegel bereitgestellt, der ebenfalls mit der Maschine verbunden ist. Vor Beginn der Abscheidung wird das Vakuum schrittweise mit rauhen und hochvakualen Pumpen ausgearbeitet, um den gewünschten Vakuumzustand zu erzeugen. Danach wird die Heizung aktiviert und die Temperatur mit einem optischen Pyrometer zur präzisen Steuerung überwacht. Zur Abscheidung werden die Quell- und Targetmaterialien in die entsprechenden Kammern eingelegt und das Gas-, Flüssigkeits- oder Feststoffquellenmaterial bis zum Verdampfen erhitzt. Das verdampfte Material gelangt dann in die Reaktionskammer und kondensiert je nach benötigter Abscheidegeschwindigkeit auf das Zielmaterial. Der Bediene überwacht dann das Material, um sicherzustellen, dass der Abscheidevorgang entsprechend den gewünschten Parametern erfolgt. Wenn die gewünschten Parameter erreicht sind, wird das Werkzeug dann entlüftet und die Türen geöffnet, um die Kammer bei Bedarf zu entladen und nachzuladen. Anschließend wird die Kammer wieder zur Atmosphäre geöffnet und es kann Material entfernt werden. AMAT Centura PVD Asset ist ein effizientes Modell für die physikalische Bedampfung verschiedener Materialien mit präzisen und wiederholbaren Ergebnissen. Seine Fähigkeit, die Abscheiderate zu kontrollieren und eine genaue Beschichtungsdicke zu gewährleisten, macht es für diejenigen Branchen von unschätzbarem Wert, in denen Präzision in der Qualität der Beschichtung erforderlich ist.