Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura PVD #9266535 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura PVD
ID: 9266535
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1996
Sputtering system, 8" Chamber: GAMMA 2 TiN 1996 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura PVD ist eine physikalische Dampfabscheidung (PVD), die speziell für die Herstellung fortschrittlicher elektronischer Geräte entwickelt wurde. Das System wurde entwickelt, um mehrere Prozessfähigkeit in einer einzigen Kammer zur Verfügung zu stellen, mit einigen Modellen mit fünf oder mehr Konfigurationsoptionen. Es handelt sich um eine integrierte Reaktoreinheit aus einer Abscheidungsquelle und einer Hauptkammer. Die Hauptkammer der AMAT Centura PVD-Maschine ist ein Vakuumwerkzeug, das verwendet wird, um einen Musterwafer in das Asset zu platzieren. Die Kammer wird auf einem Basisdruck gehalten, um einen gleichmäßigen Materialfluss aus den Quellwafern zu ermöglichen. Die Kammer besteht auch aus einer elektrischen Durchführung, die verwendet wird, um die Elemente des Modells, wie die Elektronenstrahlquellen, das Filament und das Spannfutter zu versorgen. ANGEWANDTE MATERIALIEN Centura PVD-Ausrüstung wird von einer breiten Palette von Abscheidungsquellen angetrieben. Vorzugsweise umfasst dies Elektronenstrahlquellen, die dem Filament Laserenergie entnehmen und auf die Waferoberfläche abscheiden. Der Elektronenstrahl kann eingestellt werden, um die Eindringtiefe und Selektivität des abgeschiedenen Materials zu variieren. Zur Herstellung einer mehrschichtigen Abscheidung können sekundäre Abscheidungsquellen, einschließlich Widerstands- und HF-Quellen, eingesetzt werden. Das Substrat wird über ein Vakuumfutter, das auf einem elektronischen Manipulatorarm montiert ist, sicher im System gehalten. Dies ermöglicht die Bewegung des Spannfutters während des Arbeitszyklus sowie die manuelle Positionierung zwischen den Operationen. Zusätzlich ist das Futter mit einem Ionenmessgerät ausgestattet, das genaue Messungen des Kammerdrucks liefert, um eine hohe Stabilität während des gesamten Abscheidungsprozesses zu gewährleisten. Schließlich werden die verschiedenen Quellen und Komponenten der Centura PVD-Einheit mit einer Reihe von Steuerungssoftware-Optionen und Befehlen ergänzt. Dazu gehören erweiterte Benutzeroberflächensysteme zur verbesserten Kontrolle der Maschine, Optionen zur Überwachung von Prozessparametern und die Möglichkeit, mehrere Systeme von einer Remote-Schnittstelle aus zu bedienen. Insgesamt ist das AMAT/APPLIED MATERIALS Centura PVD-Tool ein umfassendes Asset, das für eine Vielzahl von Produktionsumgebungen geeignet ist. Das Modell ermöglicht eine Reihe verschiedener Abscheideprozesse, die Qualität und Genauigkeit in der Produktion gewährleisten. Darüber hinaus können Anwender mit anpassbarer Steuerungssoftware und erweiterten Quelloptionen eine größere Kontrolle über ihre Prozesse erlangen.
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