Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Radiance #9094639 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9094639
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2009
RTP System, 8"
Frame: TPCC
(2) Chambers: Radiance RTP
Non-toxic
Atmospheric
Currently crated
2009 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Radiance ist eines der fortschrittlichsten derzeit verfügbaren Plasmaätzsysteme. Es ist ein Ätzreaktor, der für Ultra-High-Aspect-Ratio-Hersteller von Halbleiterbauelementen entwickelt wurde. Der Reaktor ist ein unglaublich vielseitiges Werkzeug, das sowohl Einzel- als auch Mehrkammer-Konfigurationen und verschiedene Ätzprozesse bietet. Das Gerät ist in der Lage, Sub-100 Nanometer Auflösungen mit einer moderaten Ätzrate zu erreichen. AMAT Centura Radiance Reaktor ist mit mehreren Funktionen ausgestattet, so dass die Kammer mit einer breiten Palette von Ätzchemie und Ätzverfahren ausgeführt werden kann. Die Elektronenzyklotronresonanz (ECR) -Technologie erzeugt ein extrem gleichmäßiges Plasma, während die strahlunterstützte Abscheidung, eine radikale neue Technologie, dafür sorgt, dass alle in der Kammer abgeschiedenen Materialien eine extrem gleichmäßige Dicke aufweisen. ANGEWANDTE MATERIALIEN Centura Radiance Reaktor arbeitet durch die Einführung von Gasplasma in die Kammer, wodurch eine energetisierte hochreaktive Umgebung. Dieses Gasplasma wird dann für den Ätzprozess verwendet, wobei das zu ätzende Material aufgelöst wird, um das gewünschte Profil zu erreichen. Reaktives Ionenätzen ermöglicht es Operatoren, die Ätztiefe und das Profil mit mehreren Durchläufen zu steuern, und das Hochenergieplasma erhöht die Ätzrate. Auf diese Weise können Benutzer auch die entsprechende Ätzrate für jede Anwendung auswählen. Mit seinen fortschrittlichen Funktionen kann der Centura Radiance Reaktor in einer Vielzahl von Ätzanwendungen eingesetzt werden, von hochgradigen On-Die-Metall-Leiterbahnen bis hin zu Nanostrukturen für optische Tests. Das System hat auch Anwendungen in der hohen dielektrischen Konstante (k) Ätzen und MEMS Herstellung. Die Core AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Radiance Etch Unit besteht aus vier separaten Komponenten: einer einfach zu bedienenden Frontend-Schnittstelle, einer robusten Vakuummaschine, einer einzigartigen Quarzätzkammer und einem intelligenten, hochpräzisen Steuerwerkzeug. Diese Kombination von Komponenten schafft eine leistungsstarke Plattform für Ätzanwendungen. Das Hochleistungsspektrometer, die hochauflösende digitale Optik und die chemischen Analysefunktionen dienen auch zur Steuerung und Überwachung des Ätzprozesses. AMAT Centura Radiance bietet zuverlässige, wiederholbare Ätzergebnisse mit einer breiten Palette von Ätzchemien. Ob ein- oder zweiseitiges Ätzen, hohes Seitenverhältnis oder hohe Prozessgleichmäßigkeit, vollständige Waferätzung oder Linienmusterätzung - APPLIED MATERIALS Centura Radiance erfüllt anspruchsvolle Ätzanforderungen. Dieser Ätzreaktor ist ein leistungsstarkes Werkzeug bei der Entwicklung von Hochleistungs-Halbleiterbauelementen.
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