Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura RTP XE #9188732 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura RTP XE
ID: 9188732
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2000
Etcher, 8" 2000 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura RTP XE Reaktor ist ein anspruchsvolles Gerät, das den Anforderungen der Halbleiterindustrie gerecht wird. Der Reaktor ist speziell für das Ätzen und Abscheiden dünner Filme ausgelegt und ist ein wirksames Werkzeug für die Abscheidung in vielen verschiedenen Produktionsprozessen. Das RTP wird in vielen Anwendungen in der Halbleiterindustrie wie Gateoxidbildung, Silizidbildung, Diffusionsbarriere und Adhäsionsschichtabscheidung, Low-K-Dielektrizitätsabscheidung und Topologiesteuerung eingesetzt. Der XE ist eine fortschrittliche Version des Reaktors mit mehreren erweiterten Funktionen wie verbesserte Prozesssteuerung. AMAT Centura RTP XE ist ein horizontaler Ofenreaktor mit 6 "-Strahllinie. Der Reaktor verfügt über eine segmentierte thermische Zonenausrüstung, die eine ausgezeichnete Gleichmäßigkeit innerhalb jeder Zone und schnelle Zykluszeiten bietet. Der Brennofen hat ein Hochleistungshopräzisionsabsetzungssystem mit fortgeschrittenen Prozesssteuerungsfähigkeiten. Die Centura liefert hohe Abscheidegeschwindigkeit und Gleichmäßigkeit mit überlegener Wärme- und Prozesskontrolle. Es zeigt auch eine Unterdruckelektronzyklotronklangfüllequelle, die Leistung auf höchster Ebene und Gleichförmigkeit sogar am Unterdruck-mit bedeutenden Ersparnissen in Prozesskosten berücksichtigt. Das RTP XE verfügt über erweiterte Funktionen wie Dual-Source-Funktionen, hochpräzises Gashandling und erweiterte Wafer-Handhabung und -Überwachung. Es bietet einen fortschrittlichen Multi-Zone-Controller mit integrierter Software zur präzisen Prozesssteuerung. Erweiterte Partikelkontrollfunktionen bieten überlegene und wiederholbare Ergebnisse. Darüber hinaus unterstützt das Gerät elektrische On-Wafer-Sondierung zur präzisen Prozessüberwachung und -steuerung. Die Maschine unterstützt auch eine breite Palette von Werkzeugkonfigurationen einschließlich Optionen für nicht-oxidierende Heizung für Materialien mit Dichte und Zusammensetzung Herausforderungen. ANGEWANDTE MATERIALIEN Centura RTP XE ist ein leistungsstarker und zuverlässiger Reaktor, der für Anwendungen mit hoher Ätzfähigkeit und geringer Abscheidung entwickelt wurde. Es ist in der Lage, die von der Industrie geforderte Geschwindigkeit, Genauigkeit und Wiederholbarkeit bereitzustellen. Seine fortschrittlichen Funktionen und Prozesssteuerungsfunktionen bieten Halbleiterherstellern einen enormen Wert, die ihre Prozessleistung und -ausbeute verbessern möchten.
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