Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura RTP XE #9188733 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura RTP XE ist ein reaktiver Multimission-Ionenätzreaktor (RIE), der für Anwendungen in der Mikrobearbeitung und -ätzung mit hohem Seitenverhältnis entwickelt wurde. Der Reaktor besteht aus einer induktiv gekoppelten Plasmaquelle (ICP), einer Magnetron-Sputter-Stromversorgung, einer Prozesssteuerung und einer Prozesskammer. Die ICP-Quelle erzeugt das Plasma und besteht aus einem Resonator, der von einem HF-Generator bis zu 400kHz angetrieben wird, zusätzlich zur unabhängigen Steuerung aller HF-Quellen. Die Dual-Frequenz-Magnetron-Sputterquelle besteht aus einem planaren und einem zylindrischen Magnetron und ist in der Lage, jedem von ihnen bis zu 200W Leistung zu liefern. Die Verwendung einer Doppelfrequenz ermöglicht die Abscheidung von Schichten mit gleichmäßiger Dicke. Die Prozesssteuerung wird von einem Hochgeschwindigkeitsrechner mit einer grafischen Benutzeroberfläche mit Echtzeit-Parameterrückkopplung betrieben. So lassen sich komplexe Prozessrezepte einfach gestalten und modifizieren. Das Panel ermöglicht es dem Bediener auch, den Ätzprozess zu überwachen und zu steuern, einschließlich der Einstellung der gewünschten Ätzraten, Ätzselektivität, Ätzgleichmäßigkeit, Abscheidungsraten und Prozessrezepte. Die Prozesskammer verwendet einen chemikalienbeständigen, hochtemperaturelektrostatisch gehaltenen Waferträger, der ein gleichmäßiges Ätzen über den gesamten Waferrand gewährleistet. Die Prozesskammer verfügt außerdem über eine erweiterte Perimetergasverteilungsplatte, die das Prozessgas zur richtungsgesteuerten Ätzleistung verteilt. Dies ermöglicht das flache Ätzen von Features mit hohem Seitenverhältnis. Neben der verbesserten Prozessleistung bietet AMAT Centura RTP XE auch eine verbesserte Prozessstabilität und Zuverlässigkeit. Es verfügt über ein integriertes Temperaturregelungssystem, um eine genaue Temperatureinstellung innerhalb der Kammerwände zu gewährleisten und konsistentere Ätzergebnisse zu gewährleisten. Kombiniert ermöglichen diese Funktionen dem Bediener eine hohe Produktionskonsistenz bei gleichzeitiger Reduzierung von Prozesszeit und -kosten.