Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura RTP XE #9216582 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura RTP XE
ID: 9216582
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1997
Etcher, 8" 1997 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura RTP XE (Reactive Thermal Processing) ist ein Reaktor, der für hohe Leistung bei der Herstellung fortschrittlicher Halbleiterbauelemente entwickelt wurde. Der Reaktor verfügt über eine vollständige Automatisierung mit einer benutzerfreundlichen Schnittstelle und Prozessparametern, die schnell und präzise programmierbar sind. Die voll ausgestattete Umgebung ermöglicht die Überwachung kritischer Verarbeitungsparameter wie Temperatur, Druck und Gaszusammensetzung vor Ort. Der AMAT Centura RTP XE Reaktor ist mit einer langlebigen Isoliereinrichtung ausgestattet, die eine konstante Temperatur und Atmosphäre im System aufrechterhält. Dies ermöglicht wiederholbare und zuverlässige Ergebnisse für eine Vielzahl von Anwendungsprozessen. Die Kammer verwendet auch ein Mehrzonen-Heizprofil, um gleichzeitig bis zu vier verschiedene Zonen innerhalb des Reaktors zu erwärmen. ANGEWANDTE MATERIALIEN Centura RTP XE verfügt über eine Vielzahl von Kammergrößen, je nach Anwendung: die größte Größe bietet einen 13-Zoll-Kammerdurchmesser. Darüber hinaus gibt es eine Auswahl an Liner-Materialien, die je nach Prozessbedarf ausgewählt werden können; die Auswahl umfasst Quarz, Graphit und Edelstahl. Der Centura RTP XE Reaktor ist sowohl mit einer Nieder- als auch Mitteldruck-Propan-Fördereinheit ausgestattet. Dies ermöglicht wiederholbare Prozesszeiten, da die Niederdruckmaschine eine höhere Propanrate liefert, während das Mitteldruckwerkzeug eine geringere Rate liefert. Diese Dual-Delivery-Ressource hilft, während des Reaktionsprozesses einen konstanten Druck und eine konstante Temperatur aufrechtzuerhalten. AMAT/APPLIED MATERIALS Der Centura RTP XE Reaktor ist robust und zuverlässig bei hohen Temperaturen und langen Verarbeitungszeiten. Es verfügt sowohl über ein fortschrittliches thermisches Regelungsmodell als auch über eine patentierte atmosphärische Druckregelungstechnologie, die dazu beitragen, eine konstante Leistung während der gesamten Dauer des Reaktionszyklus zu gewährleisten. Es hat auch eine Reihe von Alarm- und Sicherheitsfunktionen, die das Gerät und seine Benutzer vor unerwarteten Fehlern schützen. AMAT Centura RTP XE Reaktor umfasst eine breite Palette von Hilfsmitteln, einschließlich einer Stickstoffspülanlage, um eine alternative Gasversorgung bei Ausfall der Propanversorgung zu gewährleisten, und einen Massenstromregler, um den Gasstrom bei Bedarf anzupassen. Es verfügt außerdem über einen drehzahlveränderlichen Lüfter zur gleichmäßigen Wärmeverteilung und eine schnelle Reinigung, um Abfälle wie Staub und Partikel aus der Kammer zu entfernen. Schließlich ist der APPLIED MATERIALS Centura RTP XE Reaktor mit dem branchenführenden optischen System CCDopticTM ausgestattet. Dieses Gerät hilft, die Reaktionsumgebung zu steuern, indem es eine genaue Überwachung von Temperatur und Druck sowie leistungsstarke analytische Fähigkeiten bietet. Dies ermöglicht eine Feinabstimmung der Prozessparameter zu konsistenten und qualitativ hochwertigen Ergebnissen. Zusammenfassend ist festzustellen, dass der Centura RTP XE Reaktor fortschrittliche Fertigungsvorgänge für Halbleiterbauelemente zu hoher Leistung und Produktivität verhilft. Seine zuverlässige und wiederholbare Art, kombiniert mit seinen Hilfsgeräten und der optischen CCDopticTM-Maschine, machen es zu einer idealen Wahl für viele Anwendungen auf industrieller Ebene.
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