Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura RTP XE+ #9282073 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura RTP XE + ist ein Werkzeug für die Niederdruck-schnelle thermische Verarbeitung von Halbleiterscheiben. Dieser Reaktor verwendet Rapid Thermal Cycling (RTC), um Konstruktionsmerkmale innerhalb des Wafers schnell zu ermöglichen und zu deaktivieren, wodurch Hochleistungs-Halbleiterstrukturen geschaffen werden können. Der XE + -Typ ist ein metall-organisches chemisches Dampfabscheidungssystem (MOCVD), das es Anwendern ermöglicht, komplexe Designs mit kleineren Formatgrößen als frühere Reaktoren zu erstellen. Der XE + -Reaktor verwendet ultra-hohe Reinheit C2-F6-PF6 Gase nicht nur, um Funktionen genau zu schaffen, sondern auch, um Gleichmäßigkeit über mehrere Läufe zu schaffen. Die horizontal montierte Wärmequelle und die ultra-qualitativ hochwertige Gaszufuhr des Reaktors in Verbindung mit einem integrierten Temperaturkontrollsystem ermöglicht es, beispiellose Präzision, Wiederholbarkeit und Geschwindigkeit zu erreichen. Dies wird durch die quarzbeheizte Temperaturzone erreicht, die genaue Temperaturen bis 1000 ° C aufrechterhalten kann, und die Indexierungsstufen, die die Wafer und die Quarzschubladen in horizontaler Richtung bewegen, um eine höhere Gleichmäßigkeit der Temperatur beim Zyklus zu erreichen. Diese schnelle und präzise Heizung und Kühlung ermöglicht Subsekunden-Thermozyklen, die eine geringe thermische Budgetverarbeitung ermöglichen. Im Betrieb kann die XE + bis zu zwei 125mm Wafer gleichzeitig verarbeiten und ist komplett automatisiert mit Konstrukteuren, die alle Parameter innerhalb des Reaktors steuern. Die XE + hat auch Präzisionszeitsteuerung, Inertgasspülung und automatisierte Endpunktdetektion, die die Genauigkeit und Geschwindigkeit des Prozesses weiter verbessert. Darüber hinaus ist das XE + mit einem Sicherheitssystem ausgestattet, das nur bei geschlossenen und verriegelten Fangtüren aktiviert ist. Insgesamt ist AMAT Centura RTP XE + ein unglaubliches Werkzeug zur schnellen thermischen Verarbeitung auf Halbleiterscheiben. Das robuste Design, die Präzisionskontrolle und die automatisierten Funktionen machen es zu einem echten Spielwechsler für Hochleistungs-Halbleiterdesigns.