Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Super-E #9252317 zu verkaufen
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ID: 9252317
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2000
Etcher, 8"
Install type: Thru-The-Wall (TTW)
Cassette interface:
(2) Narrow body load locks
Fast wafer mapping
Main tool:
Wafer handling robot
Signal lamp tower
Buffer lid open / Close assembly (Manual)
Wafer on blade sensor
Optical endpoint system
Chambers:
Ch-A, B, C, & D: Super-E oxide
Ch-E: Blank
Ch-F: Orienter
Chamber configuration:
EBARA 305W Turbo controller
EBARA ET300WS Turbo pump
Chamber: P/N 0010-39736 REV A
Electrostatic chuck
HERF Match
Slit liner door
Autobias
Chamber liner
Cathode
Gas box / Gas pallet:
Standard gas panel interface
MFCs: AERA FC-D980C
CO 300 SCCM
C4F8 20 SCCM (TYLAN FC-2900 On chamber C)
N2 20 SCCM
O2 100 SCCM
CF4 100 SCCM
CHF3 150 SCCM (TYLAN FC-2900 On chamber A)
ARS 200 SCCM (AERA FC-D980CS)
Gas connection
User interfaces:
Front side monitor and light pen base
System side monitor and light pen base
System controller:
Equipment rack: (4) ENI OEM-28B RF Generators (Ch-A/B/C/D)
Chillers included:
B/E AEROSPACE 1231-CCN-DI-001 Dual channel
ATS 1231-CCN-DI-001 Dual channel
Power supply: 208 VAC, 4-Wire, 3 Phase
CE Marked
2000 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Super-E ist ein Reaktionsgerät, das überlegene Temperatur- und Prozesskontrolle mit einem anspruchsvollen Design für maximale Effizienz und Zuverlässigkeit kombiniert. Dieser Reaktor verwendet ein Rezirkulationssystem mit geschlossenem Kreislauf, um konsistente Temperaturen im Behälter aufrechtzuerhalten und gleichmäßige und wiederholbare Ergebnisse zu liefern. Die Heizeinheit besteht aus Quarz, der bis zu dreimal langlebiger und effizienter ist als andere Materialien. Diese Quarzheizungsmaschine ist elektronisch abstimmbar und bietet eine präzise, flache Temperaturregelung über eine Vielzahl von Sollpunkten. Das Heizwerkzeug wird durch dichte Wärmedämmung und rückgeführtes Wärmetransportmedium weiter verbessert, um Wärmeverluste zu reduzieren. Die Prozesskammer ist so konzipiert, dass genaue Reaktantvolumina verarbeitet werden können, um konsistente und wiederholbare Ergebnisse zu gewährleisten. Der Deckel besteht aus hochreinem Quarz und ist mit einer einzigartigen Prozessisolierungsfähigkeit ausgelegt, die den Kontakt zwischen Prozessgasen und der Umwelt minimiert. Die Prozesskammer enthält außerdem einen hocheffizienten Gaswäscher, der korrosive und gefährliche Nebenprodukte aus der Prozesskammer entfernt. Die Standardinstallation umfasst eine umfassende Reihe von Überwachungs- und Sicherheitsfunktionen, die die Umgebungsbedingungen innerhalb der Kammer überwachen. Dies beinhaltet die Echtzeit-Überwachung von Prozesschemikalien, Druck und Temperatur für erhöhte Prozesssicherheit. Die Anlage enthält auch ein spezialisiertes Warnmodell, das die Betreiber auf mögliche Prozessprobleme hinweist und potenzielle katastrophale Vorfälle verhindert. AMAT Centura Super-E umfasst automatisierte Prozesssteuerungssoftware, die eine nahtlose und genaue Prozesssteuerung ermöglicht. Diese Software ermöglicht eine automatisierte Kalibrierung von Prozess- und Produktparametern, für mehr Effizienz und Prozesssicherheit. Dieser vielseitige und langlebige Reaktor kommt in einer Reihe von Größen und Konfigurationen, um die Anforderungen jeder Produktionsanforderung zu erfüllen. Die Ausrüstung ist so konzipiert, dass sie wiederholbare Ergebnisse in kürzester Zeit bei minimalem Wartungsaufwand liefert. Dieser überlegene Produktionsreaktor ist ideal für komplexe und anspruchsvolle Produktionsumgebungen.
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