Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Tectra #293675757 zu verkaufen
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ID: 293675757
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2001
MCVD System, 8"
Load lock: A, B
HE (Heat Exchanger): Steel head
HP+ Robot
Wide body
SMIF
Chambers:
Chamber A: Ti (Ti-xZ)
Chamber B: TiN (TiN-xZ)
Chamber D: RPC+
Chamber E: 8 Slot cooldown
Chamber F: Orienter
Buff
Gases:
Chamber A: N2, H2, Ar, Cl2, Ar (Cl2 diluted), Ar (bottom purge), Ticl4
Chamber B: N2, NH3, Ar, Cl2, N2 (Cl2 dilution), Ar (bottom purge), Ticl4-L, Ticl4-H
Chamber D: H2, He, Ar, NF3
Dry pumps:
EBARA AA70W Chamber A
KASHIYAMA SD600PV-31 Chamber B
EBARA AA70W Chamber D
EBARA AA40W Buff
EBARA AA40W Load lock
Gas scrubber:
SHINKO SEIKI SW-50 ASM Chamber A
SHINKO SEIKI SW-50 ASM Chamber B
SHINKO SEIKI SW-50 ASM Chamber D
SYSCON Rack
Gen rack
Monitor rack
Chiller
Regulator box
Gas supply unit
HOT N₂ Controller
2001 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Tectra ist ein hochentwickelter und vielseitiger Reaktor, der auf die Bedürfnisse verschiedener Industrien zugeschnitten ist. Der Reaktor wurde speziell entwickelt, um die Abscheidung von Materialien für eine Vielzahl von Aufgaben wie Dünnschichtabscheidung, Reaktanden zur Oberflächenmodifizierung und andere High-Tech-Verfahren zu erleichtern. Es besteht aus ultrahochdichtem Graphit, was ihm ausgezeichnete thermische und elektrische Eigenschaften verleiht. Der Reaktor verfügt über eine vakuumthermische Verarbeitungseinrichtung, die eine präzise Temperatur- und Strömungssteuerung, eine Gaszirkulation um die Prozesskammer und ein zusätzliches Pumpsystem zur Erzeugung hoher Vakuumdrücke für die Abscheidung von Reaktanten ermöglicht. Der Reaktor umfaßt auch eine fortgeschrittene Heizeinheit, eine Kühlmaschine und ein Steuerwerkzeug, das die Temperatur und den Fluss des Prozesses regulieren kann. Zusätzlich ist der Reaktor mit einem speziellen Füllstandssensor ausgestattet, der mit einem Kapazitätsabgleichsverfahren den Flüssigkeitsstand in der Prozesskammer genau misst. Für eine verbesserte Leistung kommt der Reaktor mit einer ganzen Reihe von Zubehör wie Quellen für elektrische Energie, mechanische Stützen, Zuführer, Zubehör für die Reaktantenlieferung und ein Abgasmodell. Der AMAT Centura Tectra Reaktor verfügt zudem über eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen wie explosionsgeschützte Gehäuse, Überdruckschutzventile und Warnsysteme. Die fortschrittliche Steuerungsausrüstung sorgt für einen reibungslosen und zuverlässigen Betrieb auch unter extremen Betriebsbedingungen. ANGEWANDTE MATERIALIEN Centura Tectra ist eine effektive Lösung für jedes Projekt, das einen Hochleistungsreaktor erfordert. Sein fortschrittliches Design und seine Funktionen tragen dazu bei, einen zuverlässigen Betrieb, eine präzise Temperaturregelung und verbesserte Sicherheits- und Leistungsstandards sicherzustellen. Centura Tectra ist eine gute Wahl für jedes Verfahren mit der Dünnschichtabscheidung von Materialien oder Oberflächenmodifikation.
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