Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima HDP CVD #9036577 zu verkaufen

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ID: 9036577
Etcher (3) Chambers.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima HDP CVD ist ein hochdichter Plasma- (HDP) chemischer Dampfabscheidungsreaktor (CVD), der für die Großserienproduktion entwickelt wurde. Die Ausrüstung ermöglicht 10x schnellere Abscheideraten als herkömmliche CVD-Reaktoren und ermöglicht eine hohe Durchsatzproduktion. Die Prozesskammer des Systems ist mit einem Satz von Process Control Unit (PCU) ausgestattet, der in die Wand der Prozesskammer eingebettet ist und den Prozess erleichtert und überwacht. Die PCU unterstützt die Gleichmäßigkeit der Abscheidung und die Prozesskontrolle während der plasmaverbesserten chemischen Dampfabscheidung. Die Prozesskammer beherbergt zwei parallele Plasmaelektroden, um eine gleichmäßige und homogene Verteilung der reaktiven Spezies zu erhalten. AMAT Centura Ultima HDP CVD-Einheit verfügt auch über eine in-situ-Überwachungsmaschine, die eine genaue und sofortige Ablesung des Prozesses liefert. Dieses Werkzeug verfügt über eine Doppelfadenbeladung zur Steuerung von Druck und Temperatur. Es hat auch automatisierte Unterstützung für reaktive Zwischenbildung und Messung. Der Reaktor verfügt zudem über eine einzigartige In-situ-Temperatur- und Druckprofilregelung, die höchste Prozessregelbarkeit bietet. Dieses Modell ermöglicht eine Feinabstimmung der Bedingungen innerhalb der Prozesskammer während der Abscheidung, um Gleichmäßigkeit und verbesserte Leistung zu erreichen. Darüber hinaus wurden Überwachungs- und Feedback-Systeme integriert, die eine bessere Optimierung ermöglichen. ANGEWANDTE MATERIALIEN Das Centura Ultima HDP CVD-System ist hochzuverlässig und kompatibel mit einer Vielzahl von Materialien, darunter Metalle, Dielektrika, Polymere, organische Stoffe und Kombinationen davon. Das Gerät hat eine lange Lebenserwartung und kann Tausende von Stunden arbeiten. Insgesamt bietet die Centura Ultima HDP CVD-Maschine außergewöhnliche Abscheidungsgleichmäßigkeit, Hochgeschwindigkeitsabscheidung und Prozesskontrolle. Es ist eine äußerst effiziente und zuverlässige Methode der CVD-Abscheidung, und es ist in der Lage, die Anforderungen der Produktion mit hohem Durchsatz zu erfüllen.
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