Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima HDP #145562 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 145562
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2001
Etcher, 8"
3 chambers
ETO racks
2001 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima HDP (High Density Plasma) ist ein CVD-Reaktor (Chemical Vapor Deposition), der speziell für eine ultrahohe Plasmadichte entwickelt wurde. Dieser Reaktor verfügt über eine breite Palette von Fähigkeiten, die die Abscheidung von komplexen metallischen und dielektrischen Folien für eine Reihe von Anwendungen ermöglichen. Word Count: 169 AMAT Centura Ultima HDP nutzt die neuesten Fortschritte in der CVD-Technologie, um die höchstmöglichen Abscheidungsraten bereitzustellen. Dieser Reaktor basiert auf einem einzigartigen geschlossenen Kammerdesign, das einen höheren Plasmabehälter und eine bessere Kontrolle des Prozesses bietet. Innerhalb der Kammer ist die HDP mit einer hochdichten Elektronenzyklotronresonanz (ECR) -Plasmaquelle ausgestattet, die eine Plasmadichte von bis zu dreimal höher als eine herkömmliche Plasmaquelle erreichen kann. Diese höhere Plasmadichte ermöglicht höhere Reaktivitäts- und Abscheidungsraten, was zu kürzeren Abscheidungszeiten und erhöhtem Durchsatz führt. Darüber hinaus ist das HDP auch mit einem integrierten Abscheidegleichheitsmonitor ausgestattet. Dieser Monitor trägt dazu bei, dass der Abscheideprozess innerhalb einer vorgegebenen Spezifikation liegt, sodass alle erforderlichen Anpassungen schnell und einfach vorgenommen werden können. Diese Gleichmäßigkeitsüberwachung hilft auch, hohe Ausbeute und Wiederholbarkeit für komplexe Abscheidungsprozesse zu bieten, was zu zuverlässigen und konsistenten Abscheidungsphasen führt. Der HDP-Reaktor verwendet auch eine einzigartige Kühleinrichtung, die hilft, die aus dem Plasma erzeugte Wärme zu reduzieren und abzuführen, um bei Hochgeschwindigkeitsabscheidungen eine gleichmäßige Temperatur in der Kammer zu erhalten. Dieses Kühlsystem hilft auch, die Arbeitsbelastung der Abscheideeinheit zu reduzieren, was zu weniger Neustarts und längeren Wartungsintervallen führt. Schließlich ist der HDP-Reaktor mit fortschrittlichen Prozesssteuerungs- und Diagnosefunktionen ausgestattet. Dies ermöglicht eine schnelle und genaue Kammerdiagnose und Einstellung von Abscheidungsparametern, um die Leistung der Abscheidungsprozesse zu optimieren. Diese fortschrittliche Steuerungsmaschine trägt dazu bei, dass die Abscheideprozesse mit Spitzeneffizienz und -ausbeuten laufen. Insgesamt ist APPLIED MATERIALS CENTURA ULTIMA + HDP ein fortschrittlicher Reaktor, der höchste Technologie nutzt, um höchste Abscheidungsraten, Gleichmäßigkeit und Zuverlässigkeit zu ermöglichen. Dieser Reaktor ist ideal für eine Vielzahl von Anwendungen und bietet eine beispiellose Leistung für alle CVD-Abscheidungsprozesse. Wortanzahl: 500
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