Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima HDP #9206450 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima HDP ist ein Hochleistungs-Plasmareaktor (HDP) der nächsten Generation, der für die fortschrittliche Halbleiterherstellung entwickelt wurde. Der Reaktor ist in der Lage, hochwertige Wafer mit minimalem Verunreinigungsrisiko und geringen Betriebskosten zu verarbeiten. Es kombiniert innovative Designs, fortschrittliche Technologie und hohe Präzision, um beste Plasmaleistung zu ermöglichen. Die HDP-Plattform der Centura Ultima nutzt eine Vielzahl von Kammerkonfigurationen und Prozesstechnologien. Dazu gehören reaktive Ionenätzung (RIE), induktiv gekoppelte Plasma- (ICP) und hochdichte Plasma- (HDP) Prozesse. Das HDP-Verfahren nutzt zwei unabhängige Energiequellen, von denen eine eine hochdichte Plasmaquelle ist, die Temperaturen von mehr als 10.000 ℃ erreichen kann. Die anderen Quellen sind Allzweck-Stromquellen, die für eine Vielzahl von atmosphärischen Prozessen wie Asche und Plasmareinigung verwendet werden. Um ein konsistentes Dopingniveau zu gewährleisten, verwendet AMAT Centura Ultima HDP eine fortschrittliche Deep-UV-Beleuchtungsausrüstung. Dieses Deep-UV-System reduziert die Variation des Dotierungspegels und erhöht die Reproduzierbarkeit des Dotierungsprofils. Zusätzlich kann der Ultima HDP-Reaktor in einem erweiterten Druckbereich von bis zu 7 Torr arbeiten, was die Verarbeitung von Oxiddielektrikumschichten ermöglicht. Der HDP-Reaktor verfügt über eine Vielzahl von In-situ-Überwachungssystemen, die eine Echtzeit-Rückkopplung der Parametersteuerung ermöglichen. Diese Echtzeit-Steuerung ermöglicht eine schnelle Optimierung der Prozessparameter und sorgt für höchste Produktivität. Das Gerät enthält auch einen hochempfindlichen Reinraumsensor, der eine chemische Detektionsmaschine mit niedriger Küste zum Detektieren von Partikeln oder Gasvorkommen verwendet. Der Ultima HDP Reaktor ist für maximalen Wirkungsgrad ausgelegt. Es ist mit einer integrierten Hochleistungs-Turbopumpe für Prozessvakuum, einer Vielzahl von Prozess- und Reinraumüberwachungssystemen sowie einer leistungsstarken Motorantriebseinheit ausgestattet. Darüber hinaus ist das Werkzeug mit einer integrierten Kühl- und Heizeinrichtung ausgestattet, die den Betrieb in weiten Temperaturbereichen ermöglicht, ohne die Leistung zu beeinträchtigen. Abschließend ist der APPLIED MATERIALS CENTURA ULTIMA + HDP-Reaktor ein fortschrittliches und kostengünstiges Plasmabearbeitungsmodell, das die höchste Leistung jedes HDP-Reaktors auf dem Markt liefert. Es ist in der Lage, qualitativ hochwertige Ergebnisse mit minimalem Kontaminationsrisiko und niedrigen Betriebskosten zu erzielen. Darüber hinaus ist der Reaktor für maximalen Wirkungsgrad ausgelegt und mit modernsten Überwachungssystemen und leistungsstarken Motorantrieben ausgestattet. Dieser Reaktor ist ideal für jede Halbleiterherstellungsanlage, die ihre Produktionskapazitäten auf die nächste Stufe heben möchte.