Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima Plus #9046180 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9046180
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1999
CVD, 8"
Main body:
3-Chamber
Signal tower: 3-Color
Door interlock sensor
Wafer OF type: Falt type
Process chamber:
Dome heater cooling type
Ceramic ESC: WTM
Top mount remote plasma
Generator type: ENI
Local match box
Heat exchanger: SMC
Dual IHC control
Main frame:
Loadlock body: Wide
Wafer sliding sensor
Cool chamber slot: 8-slot
HP Extend robot: One ARM
Gas panel:
Cabinet exhaust: Top
Single line drop
Gas line feed: Top
Monitor:
Third: Station
Maint: Others
Missing parts or Detaching parts list:
(3) Gas ring 0010-02616
(2) Silt valve plate 0010-20021
(1) TGV trottle valve 0020-12521
(1) RPS Al GAS line 0050-46867
(2) Ceramic dome 0200-18062
(3) TGV sol v/v ass'y 3870-01649
(1) Cold loop flow sensor
(1) NF3 MFC (2L)
(1) Top Ar MFC (50 sccm)
Packing list:
Main system
Power AC rack
Rf generator rack(eto)_1
Rf generator rack(eto)_2
Rf generator rack(eto)_3
Rf generator rack(eto)_4
Rf generator rack(eto)_5
SMC chiller
Monitor
Currently installed
1999 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima Plus ist ein leistungsstarker, vollautomatischer, hochdurchsetzter CVD-Reaktor (Chemical Vapor Deposition), der für die Herstellung fokussierter, hochwertiger Dünnschichten entwickelt wurde. Dieses Gerät verfügt über die neueste CVD-Technologie für die Abscheidung einer Vielzahl von Materialien, einschließlich ultradünner Dielektrika, halbleitender und metallischer Oberflächen. Dieses System nutzt die neuesten Prozesskontrollmethoden, wie fortschrittliche Gase und Temperaturregelung, um den Durchsatz zu maximieren und die Produktivität und Reproduzierbarkeit zu verbessern. Darüber hinaus ermöglicht das Gerät die Herstellung einer Vielzahl neuartiger Nanostrukturen und Mikrostrukturen, um neue Gerätearchitekturen zu ermöglichen. Herzstück der Maschine ist ein innovativer Mehrzonen-CVD-Reaktor, ein Dreikammerdesign mit einer einzigen großen Chargenkammer. Diese Kammer ermöglicht eine sehr gleichmäßige Abscheidung unterschiedlichster Materialien in unterschiedlichsten Scheibengrößen von 3 „bis 8“. Das Werkzeug ist auch in der Lage, eine breite Palette von Abscheidungsrezepten zu handhaben, einschließlich pulverförmiger und PLD-bezogener Vorläufer für eine verbesserte Prozesskontrolle. Die Abscheideraten werden durch fortschrittliche Gasfördersysteme und schnelle Waferdrehung weiter optimiert. AMAT Centura Ultima Plus ist auch in der Lage, hochpräzise Dickenkontrolle und komplizierte Strukturbildung, von CMCVD-Funktionen zu gemusterten Drähten. ANGEWANDTE MATERIALIEN Centura Ultima Plus verfügt auch über automatisches Be- und Entladen von Wafern, mit einer fortschrittlichen Stickstoffreinigung, die eine ultrareine Umgebung gewährleistet, in der Wafer-Kontaminationen vermieden werden. Darüber hinaus verwendet das Modell eine fortschrittliche optische Ausrüstung zur Echtzeitüberwachung von Prozessbedingungen. Die Installation einer einzigen Centura Ultima Plus kann Tausende von Wafern pro Tag behandeln und die Erträge werden durch die Implementierung fortschrittlicher Abgasbehandlungs- und Rückgewinnungssysteme maximiert. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima Plus ist ein ideales System für die Herstellung fokussierter, hochwertiger Dünnschichten, Nano- und Mikrostrukturen sowie für den Umgang mit Materialverbundwerkstoffen und nanopartikelbasierten Anwendungen. Das Gerät arbeitet außerordentlich gut in einer Vielzahl von Produktionsumgebungen und seine Automatisierungsfunktionen maximieren Prozessgeschwindigkeit und Gleichmäßigkeit bei gleichzeitiger Wertschöpfung Ihrer Produktionslinie.
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