Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima Plus #9065273 zu verkaufen

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ID: 9065273
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1999
Etcher, 8" (3) Chambers Flat type Door interlock sensor Dome heater cooling type: yes Ceramic ESC: WTM Top mount remote plasma: Yes Local match box: Yes Heat exchanger: SMC Dual IHC Control: Yes Centura1 Ph 2 Wide L/L Wafer map sensor Wafer sliding sensor Cool chamber slot: 8-slot HP Extend robot: One arm Cabinet exhaust: Top Single line drop: Yes Gas line feed: Top Monitor, third: Station SMC Chiller Leybold Mac 2000 TMP Alcatel ATH2300 ENI generator 1999 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima Plus ist ein CVD-Reaktor (Chemical Vapour Deposition), der auf optimale Temperatur, Druck und Gasgleichmäßigkeit ausgelegt ist. Dieser hochmoderne CVD-Reaktor wurde entwickelt, um hochpräzise Leistung in einer Vielzahl von Abscheideprozessen zu liefern. Der AMAT Centura Ultima Plus Reaktor verfügt über eine fortschrittliche thermische Regeleinrichtung mit zwei unabhängigen Temperaturzonen für optimale Reaktantengleichförmigkeit und Prozesskontrolle. Der Reaktor nutzt mehrere gleichmäßige, direkte thermische Prozesse, die zuverlässige, höchste Genauigkeit Leistung gewährleisten. Zusätzlich wird die Prozesskammer von beiden Seiten erwärmt, wodurch die Aufheiz- und Abkühlgeschwindigkeiten beschleunigt werden, um die Gleichmäßigkeit der Abscheidungsumgebung zu gewährleisten. Der Reaktor verwendet auch ein fortschrittliches elektrostatisches Ladesystem, mit dem auch die Geschwindigkeit und Menge der aus dem Abscheidungsprozess stammenden Partikel gesteuert werden kann. Dieser Prozess, kombiniert mit einem effizienten Cluster-Werkzeugdesign, ermöglicht eine qualitativ hochwertige Abscheidung mit maximaler Effizienz. Darüber hinaus ist der Centura Ultima Plus Reaktor mit einem Dual-Sensor-Temperaturregler ausgestattet, der eine präzise Temperaturregelung für verschiedene Gase und Reaktanten ermöglicht. Die Maschine ist so konzipiert, dass sie ein hochgenaues und wiederholbares Temperaturprofil über das gesamte Substrat liefert, das Gleichmäßigkeit und Genauigkeit bei Abscheidungsprozessen gewährleistet. Centura Ultima Plus verfügt außerdem über eine Mehrzonen-Gassteuerung, die eine präzise Gasflusssteuerung ermöglicht, um den Abscheidungsprozess zu optimieren. Dieses konstruktive Merkmal stellt sicher, dass die Reaktionspartner ihre empfohlene Reinheit des Reaktionspartners beibehalten und einen zuverlässigen und effizienten Abscheidungsprozess gewährleisten. Schließlich verfügt AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima Plus über eine Prozesskammergröße von bis zu 2000cc, ausgelegt für maximale Effizienz und optimales Volumen. Das Quarzreaktorrohr und die Prozesskammerwände aus Edelstahl sind langlebig und bieten maximale Temperaturkontrolle und optimale Folienqualität während des Prozesses. Diese Eigenschaften machen AMAT Centura Ultima Plus zu einem hocheffizienten und zuverlässigen Reaktor für eine Vielzahl von Abscheideprozessen.
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