Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima X #9229987 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima X
ID: 9229987
Wafergröße: 12
Weinlese: 2007
CVD System, 12" 2007 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima X Reaktor ist ein spezialisiertes Werkzeug für CVD-Prozesse (Chemical Vapor Deposition) und andere fortschrittliche chemische Prozesse in der Halbleiterindustrie. Mit proprietären Funktionen wie der Pro- Liner™-Technologie, die auf fortschrittlichen Software-Algorithmen basiert, ermöglicht AMAT Centura Ultima X eine wiederholbare und einheitliche Abscheidung. Maximale Abscheideeffizienz wird durch das Pro- Liner™-Feature erreicht, das genaue Bahnen und gleichmäßige Druckprofile in der gesamten Kammer gewährleistet. Die Ultima X nutzt auch eine einzigartig gestaltete sub-atmosphärische Druckdifferenz zwischen der Prozessquelle und der Kammer, was die Prozesseffizienz und Gleichmäßigkeit erhöht. Das intuitive 7-Zoll-Frontdisplay und die grafische Benutzeroberfläche bieten Echtzeit-Feedback von Prozessparametern und Kammerdrücken, während die Multitasking-Funktion es Benutzern ermöglicht, mehrere Prozesse gleichzeitig auszuführen. ANGEWANDTE MATERIALIEN Centura Ultima X bietet vier unabhängige thermische Zonen, so dass Benutzer Kammeraufbereitung, Komponenten-/Werkzeugvalidierungen, chemische Verstärker und Mehrfachverarbeitung durchführen können. Der thermische Bereich aller vier Zonen ist breiter als normal und ermöglicht mehr Genauigkeit und Wiederholbarkeit bei der Verarbeitung von Wafern mit unterschiedlichen Temperaturen und Prozesschemien. Der Ultima X ist mit einer präzisen Temperaturregelung ausgestattet, die Temperaturen im Bereich von 0,5 ° C genau kontrollieren kann. Darüber hinaus bietet der Reaktor eine hochpräzise Durchflussregelung, die eine genaue Dosierung der Prozesschemie gewährleistet. Centura Ultima X bietet überlegene Spezifikationen wie einen Prozesskammerdurchmesser von 64,5 Zoll, eine Prozesskammertiefe von 23,3 Zoll, eine maximale Prozesstemperatur von 800 ° C und einen maximalen Prozessdruck von 10 Torr. Das Stromnetz besteht aus zwei 6kW Magneten, die eine schnelle Erwärmung und Kühlung der Prozesskammer ermöglichen. Zusätzlich bietet der Reaktor einen maximalen Gasdurchsatz von 12000 Litern/Minute und eine maximale BTU/Std. von 2.475. Der Ultima X ist für maximale Sicherheit ausgelegt und verfügt über einen Reinraum-Zyklusmodus, der die Prozessbedingungen überwacht und alle Restprozesse/Chemie automatisch aus der Kammer spült sowie eine Alarmeinheit, die Druck, Temperaturen und Gasfluss überwacht. Der Reaktor umfasst eine Vielzahl von eingebauten Sicherheitsmerkmalen sowie eine automatische Verriegelungsmaschine, die Benutzer daran hindert, während gefährlicher Prozesse in die Kammer einzudringen. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima X ist ideal für CVD und andere fortschrittliche chemische Prozesse und bietet überlegene Prozesseffizienz, Wiederholbarkeit und Einheitlichkeit. Seine intuitive grafische Benutzeroberfläche macht es benutzerfreundlich, während seine erweiterten Funktionen maximale Sicherheit und Präzision bieten. Mit einem effizienten thermischen Bereich und einer präzisen Durchfluss-/Temperaturregelung kann AMAT Centura Ultima X hervorragende Prozessergebnisse liefern.
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