Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima #9078243 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima Reactor ist eine hochmoderne Abscheideanlage, die in der Halbleiterverarbeitung eingesetzt wird. Mit dieser Ausrüstung können Anwender eine Vielzahl von Dünnschichtmaterialien verarbeiten, darunter Dielektrika, Metalle und organische Materialien. Der Reaktor ist in der Lage, eine breite Palette von Prozessbedingungen zu liefern, einschließlich Temperaturen von bis zu 1400 ° C, Druck bis zu 2 bar, und fließt bis zu 5000 sccm reaktive Gase. Der Reaktor ist mit einem Hochstrom-Gaseinspritzsystem, einer gemultiplexten Gassensoreinheit und einer geschlossenen Plasmaleistungsregelmaschine ausgestattet. AMAT Centura Ultima Reactor hat eine tiegelartige Kammer mit einem zentralen beheizten Suszeptor, der eine breite Palette von Substratgrößen unterstützt. Der beheizte Suszeptor ist so konzipiert, dass er die Gleichmäßigkeit während der Verarbeitung aufrechterhält und die Gleichmäßigkeit der Dünnschicht über große Waferbereiche gewährleistet. Der Cruiser-Lift Process Loader mit schnellem Wafer-Transportwerkzeug bietet eine schnelle und einfache Beladung von Substraten und Kassetten-zu-Kassetten-Handing für eine schnelle Wendezeit. Darüber hinaus ist der Ultima Reactor mit einem Roboterarm zum Be- und Entladen von Wafern und einer Hülle zur Dünnschichtbildung ausgebildet. ANGEWANDTE MATERIALIEN Der Centura Ultima Reaktor ist sehr vielseitig einsetzbar und kann Schichtdicken von 10nm bis 1um und 2- bis 200 nm dicke Dielektrika verarbeiten. Der Reaktor ist auch mit einer Reihe von Materialien kompatibel, darunter Al, Al2O3 und TiN. Dieses Gerät verfügt über integrierte Asset-Kontrollen und optimierte Prozessparameter, was die Prozessentwicklung und Wiederholbarkeit vereinfacht. Der Ultima Reactor ist mit einem hochauflösenden Videoprozessmonitor ausgestattet, der eine vollautomatische In-situ-Überwachung von Prozessschritten und -ergebnissen in Echtzeit ermöglicht. Darüber hinaus ist der Ultima Reactor auch mit eingebauten Sicherheitsfunktionen ausgestattet, die automatisierte Abschaltungen, automatisierte Gasabschaltungen und die Fernabschaltsicherheit umfassen. Um einen zuverlässigen Betrieb und qualitativ hochwertige Ergebnisse zu gewährleisten, ist der Ultima Reactor für eine einfache Wartung und Bedienung ausgelegt, mit einem modularen Aufbau und einem einfachen Zugriff auf Komponenten für Wartung und andere Standardprozesse. Der Ultima Reactor wird auch mit einer fortschrittlichen Betriebssoftware geliefert, die zur Optimierung benutzerdefinierter Parameter entwickelt wurde. Centura Ultima Reactor hinterlässt dem Anwender leistungsstarke Prozessergebnisse und eine hohe Ausbeute. Es ist ein schnell fahrender, hochpräziser, zuverlässiger und sicherer Reaktor, der leicht hochwertige Folien für eine Vielzahl von Halbleiteranwendungen herstellen kann.