Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima #9137477 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima ist eine fortschrittliche Plasmaätz-/Reinkammerausrüstung, die Herstellungsprozesse optimiert. Dieses System besteht unter anderem aus einer Hochvakuumkammer, einem Hochfrequenzgenerator (RF) und einer Plasmaquelle. Die Plasmaquelle ist ein Balor-Brenner, der in der oberen Kammer montiert ist. Es besteht aus einem Balor/Balor Ultra Doppelend-, Doppelringring-Design, mit einem Array von bis zu 16 Chemie-Lieferöffnungen für die Düsenkühlung. Die Kammer weist eine Plasmaanordnung zur Steuerung des Betriebs des Balor-Brenners auf und enthält den plasmaerzeugenden Transformator und die Wasserstoff-Argon-Chemie-Fördereinheit. Der HF-Generator liefert die Energie zur Aktivierung der Plasmaquelle. Die HF-Netzteile können von verschiedenen Konfigurationen sein, und die Kammer hat auch einen Sextupol-Magnetfeldgenerator, der den Plasmadruck reduziert, die HF-Leistungsausnutzung erhöht und die Ätzgleichmäßigkeit verbessert. Die Kammer ist mit einer umfassenden Palette von Komponenten ausgestattet, um ein einheitliches Ätzmuster zu gewährleisten. Um den Innenraum sauber und frei von Verunreinigungen zu halten, zirkuliert eine Abluftventilator- und Filtermaschine mit hoher Geschwindigkeit saubere Luft und entfernt Rest- und erzeugte Partikel. AMAT Centura Ultima ist mit einem MRP II Gas Technology Tool ausgestattet, mit bis zu fünf Gasleitungen, um die Gasströme innerhalb der Kammer zu fördern und zu steuern. Diese Funktion ermöglicht es Benutzern, konsistentere Ätzraten über verschiedene Substrate zu erreichen. Die Kammer hat auch ein optionales Helium (He) Rückseite Kühlpaket, das die Kontrolle der Temperaturen erleichtert, um dielektrische Drosselschäden und anschließendes Überätzen zu verhindern. Der Frontladeroboter bietet eine einfache und sichere Möglichkeit, Substrate durch die Kammer zu übertragen, und die Kammer ist so konzipiert, dass sie einen einfachen Zugang zu allen Komponenten für Wartungs- und Austauschzwecke bietet. Die Kammer ist in einem robusten Schrank eingeschlossen, stark konstruiert, um rauen Produktionsumgebungen standzuhalten und die Sicherheit des Personals zu gewährleisten. ANGEWANDTE MATERIALIEN Centura Ultima ist ein hochfähiges Ätz-/Reinigungswerkzeug. Es ist ein zuverlässiges und vielseitiges Gut, das in der Lage ist, extrem einheitliche Ätzprofile und reproduzierbare Ergebnisse zu liefern. Sein effizientes Gasliefermodell und Hochleistungs-HF-Generator ermöglichen es Benutzern, hochpräzises Ätzen und Reinigen zu erreichen, während seine fortschrittlichen Komponenten und das anpassbare Design es Anwendern ermöglichen, es an ihre spezifischen Bedürfnisse und Prozesse anzupassen.