Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura WCVD #9116535 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura WCVD
ID: 9116535
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1999
WxZ System, 8" 1999 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura WCVD (Wet Chemical Vapor Deposition) Reaktor ist ein vielseitiges, Hochleistungswerkzeug für eine Vielzahl von nass-chemischen Dampfabscheidungsprozessen entwickelt. Diese Kammerausrüstung bietet Leistung, Vielseitigkeit und Kosteneinsparungen bei der Herstellung von funktionalisierten und gerätetauglichen Dünnfolien. Es ist in der Halbleiterindustrie für Anwendungen wie Atomschichtabscheidung, chemische Dampfabscheidung und chemisches mechanisches Polieren weit verbreitet. Der Reaktor ist für den Betrieb bei Temperaturen bis 1000 ° C ausgelegt und der abstimmbare Druck reicht von 0,01-2,1 Torr. Der Reaktor ist zum Mehrkammerbetrieb in der Lage, um den Prozessdurchsatz zu skalieren. Die Kammer ist aus Edelstahl gefertigt und vereint ein System aus mehreren Heizungen und Kältemaschinen für präzise Temperaturregelung und Stabilität. Das Gerät bietet eine breite Palette von Prozessfähigkeiten wie Inhaltsstoffbeladung, Reaktantinjektion sowie additive und subtraktive Prozesse. Diese eignen sich ideal zum Abscheiden mehrerer dünner Folien mit spezifizierter Dicke auf einem Substrat wie einem Wafer, Glas oder Kunststoff. Die Kammer verfügt auch über eine proprietäre „Dynamic Pressure Control“, die eine präzise Druckregelung ermöglicht. AMAT Centura WCVD kann in Verbindung mit anderen Prozessmodulen wie Trockenliner, Blasen, Förderer und Substrathalter verwendet werden, um die Effizienz der Abscheidung zu verbessern. Die Maschine verfügt auch über ein großes LCD-Display für einfache Programmierung, Datenspeicherung und Prozessüberwachung. Die optionale „Smart Air and Gas Control“ ermöglicht es Benutzern, mehrere Läufe desselben Rezepts vorzuprogrammieren, um die Wiederholbarkeit der Prozessergebnisse sicherzustellen. Darüber hinaus bietet APPLIED MATERIALS CENTURA WCVD eine hohe Wiederholbarkeit und Prozessstabilität durch präzise Abstimmung der Einstellungen und der Inhaltsstoffbelastung. Dies wiederum ermöglicht hohe Ausbeuten an gewünschten dünnen Folien und ist somit ideal für die Herstellung von Bauteilen und Vorrichtungen. Es eignet sich daher für den Einsatz in einer Reihe von Branchen, darunter Automobil, Luft- und Raumfahrt, Medizin, Kommunikation und Elektronik. Insgesamt ist APPLIED MATERIALS Centura WCVD ein vielseitiges, kostengünstiges Abscheidewerkzeug mit einer Vielzahl von Funktionen für eine Vielzahl von Anwendungen. Mit seiner hohen Genauigkeit, Wiederholbarkeit und Skalierbarkeit bietet das Asset zuverlässige Leistung und liefert dünne Folien für eine Vielzahl von Produkten.
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