Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura WxP #9121263 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura WxP
ID: 9121263
WCVD Chamber.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura WxP ist ein Einzel-Wafer-Produktionsreaktor, der entwickelt wurde, um eine hochvolumige Prozesslösung für den fortschrittlichen IC-Fertigungsmarkt bereitzustellen. Der WxP-Reaktor ist in drei Konfigurationen erhältlich: Nur Barrel, nur nass oder flexibel. Jede Konfiguration ist eine hochleistungsfähige, hochkonfigurierbare Plattform, die den Anforderungen moderner Halbleiterproduktionsprozesse gerecht wird. Der Reaktor wurde gebaut, um flexible Technologien anzubieten, die CMP, ASAT, Lückenfüllung, elektrochemische Abscheidung, Ätz-, PVD-Abscheidung und vieles mehr umfassen. Es bietet ein erweitertes PVM-Modul (Process Variation Management), das die Überwachung, Vorhersage und Optimierung der Prozessbedingungen während der Produktion ermöglicht. Das anpassbare Design der Reaktorschnittstelle ermöglicht es Prozessingenieuren, Parameter schnell anzupassen und zu experimentieren, um Prozesse zu optimieren. Der WxP-Reaktor ist mit einem niederdruckchemischen Dampfabscheidungssystem (LPCVD) ausgestattet, um eine qualitativ hochwertigere Abscheidung von Polysilizium, Siliziumoxynitrid und dielektrischen Materialien niedriger k zu ermöglichen. Es beherbergt auch eine elektrochemische Abscheidung (ECD) System, das für Wolfram-Abscheidung sowie für Umverteilung und Rückseite Füllung Anwendungen verwendet wird. Der WxP-Reaktor verfügt über fortschrittliche Robotik- und Größensysteme, um eine präzise Platzierung und genaue Schüttguthandhabung zu gewährleisten. Darüber hinaus ist der Reaktor mit mehreren Sicherheitsmerkmalen wie Luftschlösser, Druckwiderstandsbleche und Überdruckalarme gebaut, um eine optimale Sicherheit während des Betriebs zu gewährleisten. Der WxP-Reaktor bietet mit seiner Multiprozessfähigkeit eine hohe Produktivität bei gleichzeitiger Gewährleistung von Genauigkeit und Leistung. Es ist mit fortschrittlicher Bewegungs- und Wafer-Handhabungstechnologie gebaut, die sowohl Wafer als auch die Ausrichtung auf Stempelebene ermöglicht. Es ist auch in Leistungsmess- und Inspektionswerkzeuge integriert, die Fehler erkennen und Feedback zur Prozessleistung geben. Insgesamt ist AMAT Centura WxP ein fortschrittlicher Reaktor, der hochwertige Ergebnisse und einen erhöhten Durchsatz in der Halbleiterproduktion liefert. Sein konfigurierbares Design und seine anpassbaren Module ermöglichen es Ingenieuren, die Reaktoreinstellungen an unterschiedliche Prozessanforderungen anzupassen, während seine erweiterten Sicherheitsfunktionen eine sichere Arbeitsumgebung gewährleisten.
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