Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura WxZ #293749330 zu verkaufen

ANGEWANDTE MATERIALIEN Centura WxZ ist ein planetarischer Einwafer-Gleichätzreaktor, der die Technologie des tiefen reaktiven Ionenätzens (DRIE) verwendet. Diese Art von Ätzreaktoren ist für das Tiefätzen kleiner Merkmale in Dünnschichtschichten auf einem einzigen Wafer ausgelegt. Es verwendet Gase auf Fluor- und Chlorbasis im plasmaverstärkten chemischen Dampfabscheidungsprozess, wodurch ein Profil mit hohem Aspektverhältnis auf Substraten verschiedener Materialien erzeugt wird, ohne die zugrundeliegende Struktur des Materials wesentlich zu verändern. Centura WxZ ist in der Lage, Substrate mit hohem Durchsatz zu ätzen und erzielt überlegene Ergebnisse, die die Verarbeitungszeit verringern können. Der Reaktor ist mit einem breiten, konfigurierbaren Spektrum an Kassettengrößen ausgestattet, was eine Kompatibilität mit mehreren Wafern und Plattformen sowie einen verbesserten Schutz vor Sicherheit und Produktausbeute ermöglicht. ANGEWANDTE MATERIALIEN Centura WxZ enthält ein revolutionäres Design, das den Zugriff auf prozesskritische Komponenten vereinfacht und den Zeitaufwand für das Ätzen eines gesamten Wafers erheblich reduziert. Sein konfigurierbares Design ermöglicht auch eine einfache Integration mit bestehendenAPPLIED MATERIALS-Systemen, was schnellere Upgrades und den plattformübergreifenden Austausch von Systemdaten ermöglicht. Centura WxZ umfasst eine Vielzahl innovativer Technologien, die zu überlegenen Ätzergebnissen führen können. Es ist in der Lage, durch die Verwendung einer speziellen Funktion, die Selbstjustierte Seitenwand Schrumpfen zu erzeugen. Dieses Feature bietet perfekte Seitenwände in einem einheitlichen Ätzprofil. Der Reaktor verfügt zudem über einen Richtduschkopfkollektor, der eine präzise Ätzflächentrennung und minimale Kantenvorspannungstoleranzen zur Folge hat. ANGEWANDTE MATERIALIEN Centura WxZ ist ein ideales Werkzeug für einheitliche Ätzprozesse, die die anfänglichen strukturellen und elektrischen Eigenschaften von Substraten erhalten oder verbessern. Durch hohe Durchsatzraten und gleichmäßiges Ätzen ist Centura WxZ sehr vielseitig einsetzbar und kann den Anforderungen verschiedener Einzelwaferprozesse gerecht werden. Das fortschrittliche Design und die innovativen Technologien, die in den Reaktor integriert sind, bieten ein verbessertes Sicherheits- und Produktertragsschutzniveau.