Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura WxZ #9174489 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Der Reaktor der Serie Centura WxZ ist eine Hochleistungs-Ätzanlage, die für Halbleiterherstellungsprozesse verwendet wird. Der WxZ-Reaktor ist ein fortschrittliches Ätzsystem, das Plasmatechnologien verwendet, um ein schnelles, präzises Ätzen mit minimalen Schäden an den Substratmaterialien zu ermöglichen. AMAT Centura WxZ ist für die Verarbeitung von Wafern mit einem Durchmesser von 6 Zoll bis 32,5 Zoll ausgelegt. Es verfügt über eine Reihe von Prozessmodulen, einschließlich Hochstrom-Ionenstrahlätzen, reaktiven Ionenätzen (RIE), RPCVD, SPCVD und PECVD. Angewandte Materialien Centura WxZ Reaktor besteht aus einer Kammer mit einer rotierenden Elektrode. Diese Einheit ist in der Lage, Hochdurchsatzprozesse wie Ätzen und Implantieren verschiedener Materialien auf die Oberfläche der Wafer zu handhaben. Es ist auch in der Lage, ein sehr einheitliches Ätzprofil zu liefern, das das Überätzen von Margen beseitigt und den „Randeffekt“ in den Endprodukten eliminiert. Die Maschine bietet auch ein fortschrittliches Automatisierungspaket. Dieses Paket enthält eine Gaskonsole, einen integrierten Wafer-Transfer-Roboter und ein Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (ECD) -Werkzeug. Dieses Automatisierungspaket wurde entwickelt, um Kreuzkontaminationen zu minimieren, die Variation von Prozess zu Prozess zu reduzieren und eine verbesserte Bestandskontrolle zu bieten. Centura WxZ ist in der Lage, qualitativ hochwertige Ätzungen für eine Vielzahl von Materialien wie Silizium, Germanium, Galliumarsenid und verschiedene dielektrische Materialien zu erzielen. Es wird über eine erweiterte Softwareschnittstelle gesteuert, die es Anwendern ermöglicht, Parameter wie Prozessdruck, Strömungen, Ätzraten und Substrattemperatur einfach anzupassen. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura WxZ verfügt auch über ein fortschrittliches Sicherheitsmodell. Dieses Gerät wurde entwickelt, um eine Verschmutzung der Kammer zu verhindern und eine Temperatur- und Druckregelung vorzusehen. Das Sicherheitssystem überwacht auch die Integrität des Prozessheizers, des piezoelektrischen Kristalls und des Plasmas. Es überwacht auch den Stromverbrauch, was zur Optimierung des Energieverbrauchs beiträgt. AMAT Centura WxZ Reaktor bietet zuverlässiges, schnelles und genaues Ätzen einer breiten Palette von Halbleitermaterialien für eine Vielzahl von Anwendungen. Das fortschrittliche Automatisierungspaket, die Hochleistungs-Ätzeinheit und die Sicherheitsmaschine machen es zu einer idealen Wahl für das Präzisionsätzen.