Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura WxZ #9203350 zu verkaufen
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura WxZ ist ein Prozessreaktor zur Abscheidung in der Halbleiterherstellung. Der Reaktor ist in der Lage, sowohl physikalische Aufdampfverfahren (PVD) als auch chemische Aufdampfverfahren (CVD) durchzuführen. Es verfügt über zwei großvolumige Reaktionsvolumina für mehr Verarbeitungsdurchsatz und Flexibilität. Das System ist mit einem HF-Generator und einer HF-Plasmaquelle ausgestattet und ermöglicht gleichmäßige, hochwertige Filme mit niedrigem Partikelgehalt. Darüber hinaus verfügt der WxZ-Reaktor über ein Vakuumfutter zur Substratrotation sowie ein automatisiertes Gaszufuhrsystem mit High-End-Massenstromreglern und automatisierter In-situ-Überwachung von Prozessparametern. Die hochpräzisen Temperatur- und Druckregelsysteme sorgen für konsistente, wiederholbare Ergebnisse. Darüber hinaus ist der WxZ-Reaktor so konzipiert, dass er eine überlegene Temperaturgleichmäßigkeit bietet und die Variabilität über die Substratoberfläche minimiert. Dies sorgt für hochwertiges Filmwachstum auf großen Substraten. Der WxZ-Reaktor wurde entwickelt, um höchste Prozesskontrolle und Genauigkeit zu gewährleisten. Die ausgeklügelten Prozessüberwachungsfunktionen sind in der Lage, Filmdicke und andere kritische Prozessparameter in Echtzeit zu erfassen. Es wurde entwickelt, um den Durchsatz zu maximieren und den Verbrauchsverbrauch zu minimieren. Das System bietet auch Werkzeugzugangsüberwachung und UV-Druck (UV-Licht), um die Sicherheit zu erhöhen. Der WxZ-Reaktor ist mit einer Reihe von Prozesschemien kompatibel und ermöglicht maximale Flexibilität in der Halbleiterherstellung. Dazu gehören Verfahren wie Ionenstrahlätzen (IBE), reaktive Ionenätzung (RIE), Atomschichtabscheidung (ALD) und elektrochemische Anwendungen. Der Reaktor besteht aus robusten, hochwertigen Materialien, die einen zuverlässigen Betrieb und eine längere Produktlebensdauer gewährleisten. Darüber hinaus ermöglicht seine Dichtkammerkonstruktion eine einfache Wartung sowie die Vermeidung von Verunreinigungen und die Gewährleistung der Prozesswiederholbarkeit. AMAT Centura WxZ ist ein zuverlässiges Werkzeug für hochwertige Folien mit überlegener Prozesssteuerung und höherer Effizienz.
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