Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura WxZ #9251453 zu verkaufen
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura WxZ ist ein chemischer Dampfabscheidungsreaktor zur Dünnschichtabscheidung. AMAT Centura WxZ ermöglicht die Abscheidung von dünnen Schichten auf verschiedenen Substraten, da es eine hohe Kontrolle über die Parameter bietet, die das Dünnschichtwachstum steuern. Es verfügt über mehrere Mega-Clusterquellen, die die Verdampfung von separaten Materialien ermöglichen, was zur Co-Abscheidung von Materialien auf dem Substrat führt. Die Temperaturzone reicht von 50 bis 1000 Grad Celsius und sein Monochromator bietet eine verbesserte spektrale Kontrolle für die Oberflächenbeschichtung. Das System verfügt auch über das Hochstrom-Gas-Handling-System, das in der Lage ist, eine Vielzahl von Hochdruckverarbeitungsgasen wie Chlor, Wachs und Stickstoff zu liefern. ANGEWANDTE MATERIALIEN Centura WxZ ist ein sehr vielseitiges Dünnschichtabscheidungswerkzeug, ideal für eine Vielzahl von Anwendungen, die von Metall- und organischen Dünnschichten bis hin zu High-K-Dielektrika und fortschrittlichen Folienstapeln reichen. Die Werkzeugkomponenten umfassen eine obere und untere Elektrode, eine zentrale HF-Quelle, einen oberen und unteren Orientierungssatz, eine obere und untere Kammer und einen Stützständer. Die Kammer bietet eine verschließbare Öffnung und mehrere Quarzansichten, um den Abscheidevorgang oder die Substratkammer zu überprüfen. Es ist mit mehreren vernetzten Computern und automatisierten Systemen ausgestattet, die es Anwendern ermöglichen, Substratposition, Kammertemperatur und inerte Atmosphäre zu steuern. Centura WxZ beinhaltet auch ein fortschrittliches Prozessleitsystem, das thermische Überwachung verwendet, um eine ordnungsgemäße Substratposition, einen einheitlichen Prozess und schnelle Umlaufzeiten sicherzustellen. Es bietet eine erweiterte Palette von Optionen für die Nachbearbeitung, einschließlich Photolithographie, Ionenfräsen und Ätzen, thermische Trocknung und vieles mehr. Darüber hinaus kann das Werkzeug für F & E-Zwecke und zur Skalierung von Produktionsprozessen eingesetzt werden. Insgesamt ist AMAT/APPLIED MATERIALS Centura WxZ ein zuverlässiges und vielseitiges Dünnschichtabscheidungswerkzeug, das für Forschung und Entwicklung, Dünnschichtabscheidung von Wafern und Substraten und andere fortgeschrittene Nachbearbeitungsanwendungen bestimmt ist. Es bietet eine benutzerfreundliche Umgebung mit erweiterten Funktionen und Parameterkontrolle, so dass Forscher hohe Qualität und zuverlässige Ergebnisse erzielen können.
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