Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura WxZ #9273065 zu verkaufen

ID: 9273065
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1997
WCVD System, 8" (2) Chambers LL Type: Narrow body Chiller: AMAT 0 Heat Exchanger 1997 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura WxZ ist ein fortschrittliches Oxidreaktorsystem, das für die Herstellung von Power/Logic/SRAM-Embedded Memory Devices entwickelt wurde. Dieser Reaktor dient zur Bereitstellung eines einseitigen Waferprozesses aus anfänglicher Waferreinigung, Filmabscheidung (z.B. SiO2) und Implantation. Mit einem integrierten Transportsystem kann AMAT Centura WxZ mehrere Prozesse in einer einzigen Kammer durchführen oder Wafer zwischen Kammern zur Mehrkammerintegration bewegen. Dieses effiziente System ist in der Lage, ultradünne Oxidschichten bei unglaublich niedriger Abscheidungstemperatur zu erzeugen. ANGEWANDTE MATERIALIEN Der Faraday Magnetron Sputter von Centura WxZ bietet einen einheitlichen Prozess über die gesamte Waferoberfläche und ermöglicht es, Strukturen mit einer Breite von bis zu 30 nm mit unglaublicher Präzision zu erstellen. Der modulare Aufbau von Centura WxZ ermöglicht es Benutzern, den Reaktor an seine individuellen Anforderungen anzupassen und gleichzeitig einen konsistenten Prozess aufrechtzuerhalten. Die Verwendung der modularen Komponenten bietet eine flexible Integration mit zusätzlichen Prozessschritten wie Metallabscheidung und Atomschichtabscheidung. Weitere einzigartige Merkmale sind hoher Durchsatz, niedrige Temperaturverarbeitung, schnelle Prozesszeiten und erweiterte Steuerungs- und Datenerfassungssysteme. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura WxZ ermöglicht es Kunden, je nach Anwendungsfall eine Vielzahl von Prozessoptionen zu nutzen. Dazu gehören Reinigung, thermische Oxidation, oxidierende und nitridierende Glühlampen, schnelle thermische Glühsysteme, Post-Implantat-Glühlampen und Nachreinigungsprozesse. AMAT Centura WxZ kommt auch mit einem erweiterten Steuerungspaket, das eine einfach zu bedienende Benutzeroberfläche und Zugriff auf Echtzeit-programmierbare Daten bietet. Diese Daten können zur Optimierung der Prozessbedingungen und zur Aufrechterhaltung der Prozesskonsistenz verwendet werden. ANGEWANDTE MATERIALIEN Centura WxZ ist ein vielseitiger, branchenführender Reaktor, der überlegene Leistung in einer platzsparenden Umgebung bietet. Es vereint hohe Produktivität, präzise Temperaturregelung und hervorragende Zuverlässigkeit, um hohe Erträge und geringere Betriebskosten zu gewährleisten. Mit der erhöhten Effizienz und Flexibilität von Centura WxZ können Gerätehersteller nun integrierte Schaltungen mit den höchsten Erträgen herstellen.
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