Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #146827 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA Reaktor ist eines der modernsten und zuverlässigsten Systeme für die Herstellung von Halbleiterbauelementen und Plasmabearbeitung. Es ist ein hochflexibles Werkzeug für F&E und Produktionsanwendungen bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen. Das Gerät hat zwei Hauptkomponenten: Die erste ist eine Vakuumkammer aus einer Reihe von Quarz- oder Edelstahlplatten, die mit inerten Gasen unter Druck gesetzt werden kann und durch die Vakuum stabilisiert werden kann. Die zweite Komponente ist eine Kathodenanordnung, die das Kathodenmaterial aufnimmt und zur Plasmaerzeugung in die Kammer eingesetzt werden kann. Außerdem weist sie einen HF-Generator auf, der eine elektrische Leistung für das Plasma und ein Gasversorgungssystem zum Einleiten von Prozessgasen in die Kammer liefert. Der HF Generator im AMAT CENTURA Reaktor ist ein Hochspannungsmodul, das die Leistungsabgabe steuern kann. Dadurch kann der Bediener die Betriebsparameter fein einstellen und die besten Einstellungen für die Leistungssteuerung auswählen. Der HF-Generator übernimmt auch die Steuerung der am Wafer anliegenden Vorspannung. Der HF-Generator ist auch mit der Grundplatte der Kammer verbunden, die als Abschirmung wirkt und hilft, Störungen der Schaltung zu verhindern. Die Gasversorgungseinheit ist auch ein wichtiger Bestandteil des EINSATZMATERIALIEN CENTURA Reaktors. Sie ist über einen Satz von Ein- und Ausgangsventilen mit der Vakuumkammer verbunden und dient der Einleitung von Prozessgasen wie Sauerstoff und Stickstoff in die Kammer. Dieses Gas wird dann mit dem Prozessmaterial vermischt und in der Kammer wieder in Umlauf gebracht, um eine ordnungsgemäße Temperatur- und Druckregelung aufrechtzuerhalten. Die Kathodenanordnung im CENTURA-Reaktor besteht aus einem Satz von Elektroden, die durch eine Kombination aus mechanischen und elektrischen Komponenten gehalten werden. Diese Elektroden sind für die Bildung von Plasma innerhalb der Kammer verantwortlich, und die Art und Kombination der verwendeten Elektroden variiert je nach Anwendung. Die Kathodenanordnung kann an die spezifischen Bedürfnisse des Benutzers angepasst werden. Schließlich ist auch die Kammer des AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA Reaktors in hohem Maße einstellbar und kann so programmiert werden, daß die Temperatur und das Vakuumniveau in der Kammer entweder erhöht oder erniedrigt werden. Dadurch kann der Anwender die gewünschten Betriebsbedingungen erreichen, was die Ausbeute des Verfahrens drastisch verbessern kann. Zusammenfassend ist der AMAT CENTURA Reaktor eine zuverlässige und vielseitige Maschine zur Herstellung von Halbleiterbauelementen und zur Plasmabearbeitung. Es bietet eine ausgezeichnete Kombination von Funktionen, die F&E- und Produktionsanwendungen unterstützen, und eine zuverlässige Reihe von Funktionen wie HF-Generator, Gasversorgungswerkzeug und Kathodenanordnung. Alle diese Komponenten kombinieren, um APPLIED MATERIALS CENTURA Reaktor eine der beliebtesten Optionen für Halbleiterbauelementherstellung und Plasmabearbeitung zu machen.