Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #293600348 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
Tippen Sie auf Zoom
ID: 293600348
Weinlese: 1997
Metal etcher
Mainframe
(2) DPS Chambers (Poly and metal)
(2) R2 Chambers
(2) ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER Transfer pump / loadlock pump
(3) BOC EDWARDS iH80 Dry pumps
(3) NESLAB HX-150 Chillers
HP Robot
Narrow body load locks
AC and generator rack
1997 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA Wafer Reactor (AMAT CENTURA) ist ein Metallabscheidungswerkzeug, das entwickelt wurde, um komplexe Wafermuster in einer Vielzahl von Materialien zu erzeugen. Das Werkzeug kann verwendet werden, um Materialien wie Gold, Aluminium, Titan, Chrom und Wolfram unter vielen anderen abzuscheiden. Angewandte Materialien CENTURA verwendet kostengünstige chemische Dampfabscheidung (CVD) und chemisch-mechanische Planarisierung (CMP) Technologien, um hochgleichmäßige, feinteilige Metallstrukturen zu erzeugen. CENTURA nutzt ein hocheffizientes Gesamtkammerdesign, das die Prozessfähigkeit verbessert, einschließlich Wafer-Umlagerung, Wafer-Leistung und Kammernutzung. Dieses effiziente Design verfügt über eine Dual Cycle CVD-Ausrüstung, die in der Lage ist, mehr Wafer in kürzerer Zeit zu verarbeiten. Der Dual Cycle CVD kann gleichzeitig bis zu 16 Wafer gleichzeitig verarbeiten und ermöglicht die mehrfache Abscheidung verschiedener Materialien gleichzeitig. Darüber hinaus ermöglicht das zweispurige CMP-Modul einen erhöhten Durchsatz und ermöglicht überlegene Ergebnisse in Bezug auf Gleichmäßigkeit, Planheit und Metallisierung. AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA bietet ein beispielloses Maß an Flexibilität und Präzision, mit dem Benutzer die kompliziertesten Details hinterlegen, ätzen und polieren können. Das CVD-System ist mit einer fortschrittlichen On-Wafer-Metrologie-Einheit ausgestattet, um Mustermerkmale in Echtzeit auszuwerten. Dies gibt Benutzern beispiellose Kontrolle über ihren Prozess und ermöglicht genaue Abscheidungsparameter für sehr detaillierte Funktionen. Darüber hinaus verfügt AMAT CENTURA über eine dynamische Temperaturabbildungsfunktion, um die Temperaturverteilung aller wesentlichen Prozessbereiche genau abzubilden. Darüber hinaus ist APPLIED MATERIALS CENTURA mit fortschrittlichen Sicherheitsmerkmalen und einer Reihe von Prozesswerkzeugen ausgestattet, die zur Optimierung der Prozessbedingungen beitragen. Das Werkzeug enthält eine Überwachungsmaschine „Sensor zu Sicherheit“ und Pop-up-Wafer-Vakuum für die Entfernung von Wafern. Weitere Merkmale des Werkzeugs sind ein Partikelerkennungsgerät, ein Vakuumdrucküberwachungsmodell und ein hochzuverlässiger Roboterarm für das Wafer-Handling. CENTURA bietet exzellente Präzision und Wiederholbarkeit und bietet überlegene Wafer-Oberflächengleichförmigkeit. Das Werkzeug kann auch vollautomatisiert und im Rahmen eines flexiblen Fertigungsprozesses in andere Werkzeuge integriert werden. Diese Flexibilität ermöglicht es Anwendern, ihren Prozess zu integrieren und den gesamten Produktionsprozess zu steuern. Mit seinen fortschrittlichen Funktionen und der intuitiven Bedienung ist AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA das ideale Werkzeug zum präzisen Abscheiden und Polieren von hochwertigen Wafern.
Es liegen noch keine Bewertungen vor