Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #293619653 zu verkaufen
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ID: 293619653
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2004
Etcher, 12"
EFEM
MP 40B-GL ADVANCED THERMAL Chiller
(3) Workstations
(3) Chambers (A, B, C)
AC Rack
Front panel
Pump
Pallet
Cable
2004 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Enabler ist ein leistungsstarkes, vielseitiges Plasmareaktionssystem, das die kontinuierliche Innovation und Produktion fortschrittlicher Materialien unterstützt. Dieser Reaktor ermöglicht die Verarbeitung von dielektrischen, Metall-, Polymer- und organischen Schichten sowie mehrschichtigen Baugruppen und Beschichtungen in einem Arbeitsgang. Es bietet eine Reihe von Hochtemperatur, Hochleistungs-Plasma-Reinigung, Behandlung und Abscheidung von verschiedenen Materialien. AMAT Centura Enabler bietet mehr Durchsatz und Zuverlässigkeit sowie eine verbesserte Prozesseinheitlichkeit und Prozesssteuerung. Es verfügt über eine integrierte Plasmaquelle, demonstrierte Vakuumsysteme und eine Energieeffizienz, die insgesamt eine höhere Verarbeitungseffizienz bietet. Darüber hinaus verfügt der Enabler über eine offene Rahmenkonstruktion, die ein einfaches Laden und Abrufen des Werkstücks und eine einfache Automatisierung ermöglicht. Mit einer maximalen Verarbeitungstemperatur von bis zu 1000 ° C ermöglicht APPLIED MATERIALS Centura Enabler Prozesse wie berührungsloses PECVD, Volatilmetal CVD und thermische Verdampfung sowie Abscheidung und Ätzen von Polymeren und dielektrischen Folien. Der Reaktor ermöglicht auch die Kombination verschiedener Abscheideprozesse auf demselben Substrat zu mehrschichtigen Strukturen. Darüber hinaus unterstützt es Prozesse mit Variable Composition Modulation (VCM), wobei die Zusammensetzung des abgeschiedenen Materials während des Abscheidelaufs verändert wird. Centura Enabler ermöglicht eine gleichmäßige Abscheidung innerhalb eines weiten Temperaturbereichs und bei hohen Geschwindigkeiten und eignet sich somit perfekt für Präzisionsbeschichtungsanwendungen wie Hartbeschichtungen, Dichtung, Verkapselung und Diffusion. Darüber hinaus kann es in Vakuumofensystemen wie AMAT Multi-Chamber System eingesetzt werden, um sowohl nasse als auch trockene Prozesse zu ermöglichen sowie komplexe Prozessabläufe zu rationalisieren. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Enabler ist mit zwei heißen/kaltwandigen HF-Plasmen ausgestattet, die es Anwendern ermöglichen, die Abscheidungsqualität, Gleichmäßigkeit und Geschwindigkeiten über verschiedene Temperaturbereiche zu optimieren. Seine fortschrittlichen Sensoren, Temperaturregler, anspruchsvollen Netzteile und intelligenten Prozessleitsysteme ermöglichen eine verbesserte Prozesskontrolle und Betriebsgenauigkeit. Darüber hinaus sorgt die Sicherheits- und Wartungsüberwachung für eine zuverlässige und effiziente Arbeitsumgebung und eine endbenutzerfreundliche Benutzeroberfläche ermöglicht es dem Benutzer, Rezepte und Parameter schnell und einfach anzupassen. Abschließend ist AMAT Centura Enabler ein robuster und zuverlässiger Reaktor, der Hochtemperatur-, Hochleistungs- und Vielzweckplasmaverfahren für eine breite Palette von Beschichtungen und Materialschichten ermöglicht. ANGEWANDTE MATERIALIEN Centura Enabler bietet mehr Durchsatz und Zuverlässigkeit sowie verbesserte Prozesskontrolle und Gleichmäßigkeit. Als solches ist es ein nützliches Werkzeug für Labore und Fertigungsumgebungen, um fortschrittliche Beschichtungen und Materialien zu entwickeln.
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