Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #293628309 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA
ID: 293628309
Weinlese: 2007
System 2007 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA ist ein Abscheidungswerkzeug, das für das Wachstum von epitaktischen Filmen auf großflächigen Substraten ausgelegt ist. Die Kammer ist so ausgebildet, dass Ionen aus allen Richtungen in die Folien implantiert werden können, wodurch die Gleichmäßigkeit der Filmabscheidung gewährleistet ist. Diese Art der Abscheidung wird als Epitaxie bezeichnet und wird häufig zur Erzeugung ultradünner und mehrschichtiger Strukturen in Halbleiterbauelementen verwendet. Der AMAT CENTURA Reaktor kann im Vakuum oder Druck betrieben werden und ist für einen gleichmäßigen thermischen Zyklus während der Filmabscheidung optimiert. Es ist mit einer einzigartigen „Multi-Ionen-Quelle“ ausgestattet, die die Koabscheidung verschiedener Folien auf dem Substrat ermöglicht. Diese Multi-Ionen-Quelle verwendet proprietäre Rezepte, die speziell für jede Anwendung entwickelt wurden. Angewandte Materialien CENTURA verfügt über eine Hochtemperatur-Niederdruckumgebung, die in einer reinraumartigen Atmosphäre arbeitet. Seine niederviskose, hochdruckreiche, inerte Atmosphäre ermöglicht die Abscheidung von thermisch stabilen Materialien mit außergewöhnlicher Gleichmäßigkeit. Die inerte Umgebung sorgt dafür, dass während des Folienabscheidungsprozesses keine Verunreinigungen eingebracht werden, was zu knackigen und zuverlässigen Merkmalen ohne körnige Artefakte führt. Ein Ultrahochvakuum (UHV) ist ein wichtiger Bestandteil des CENTURA-Reaktors. Das UHV erlaubt es der Kammer, bei sehr niedrigen Drücken zu arbeiten, was die Mitabscheidung mehrerer Folien ermöglicht und die Gleichmäßigkeit der auf dem Substrat aufgewachsenen Folien verbessert. Darüber hinaus gewährleistet UHV eine ultra-saubere Wachstumsumgebung, die die Integrität des zu konstruierenden Geräts schützt. AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA wird von einem modernen Netzteil angetrieben, das extrem niedrige Temperaturen für verbesserte Prozesse liefert. Die Stromversorgung bietet eine hohe Temperaturgenauigkeit, die präzise entwickelte Eigenschaften und eine ausgezeichnete Gleichmäßigkeit über die Substratebene gewährleistet. AMAT CENTURA kann mit zusätzlicher Hardware wie einem Load-Lock (LLS) für Waferaustauschzyklen konfiguriert werden. Das Load-Lock-System ermöglicht schnelle Waferaustauschzyklen zwischen Abscheidekammer und Lastschloßkammer. Dieses System reduziert die Wahrscheinlichkeit einer Kontamination und Oxidation der zu bearbeitenden Wafer erheblich und trägt zur Verbesserung der Reproduzierbarkeit der Ergebnisse bei. Die neueste Version von APPLIED MATERIALS CENTURA ist auf eine Vielzahl von Kundenanforderungen zugeschnitten. Die neu erschienene „Intuitive CENTURA Instrumentation“ soll die Lernkurve reduzieren und den Anwendern helfen, schnell auf den neuesten Stand zu kommen. Darüber hinaus verfügt es über einen „Smart Controller“ zur automatisierten Steuerung der Abscheideparameter, die für eine optimierte Leistung eingestellt werden können. Das AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA System ist ein leistungsstarkes Abscheidewerkzeug zur Herstellung funktioneller Hochleistungs-Halbleiterbauelemente. Es verwendet präzise Abscheidungssysteme, inerte Umgebung und genaue Temperaturregelung für Gleichmäßigkeit und Reproduzierbarkeit. Mit ihrer kontinuierlichen Weiterentwicklung bleibt sie ein wichtiges Werkzeug für die moderne Halbleiterindustrie.
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