Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #293652600 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA ist eine Hochdurchsatz-Mehrkammerprozessstation zur Verarbeitung von Photoresist oder Substratmaterial. Es wird in vielen Branchen eingesetzt, in denen eine präzise Verarbeitung erforderlich ist, wie Halbleiter, medizinische Geräte, Dünnschichtbeschichtungen und Luftfahrt. Die Station besteht aus einem geschlossenen Edelstahlgehäuse und ist mit einem Tisch oder einer Substratstufe und vier unabhängigen Bearbeitungsmodulen ausgestattet. Jedes Modul ist mit verschiedenen steuernden Komponenten ausgestattet und kann eine Reihe von verschiedenen Arten von Geräten enthalten, von Pumpen und Injektoren bis hin zu Reaktoren, Mischern und Verdampfern. Die Module sind programmierbar und können für mehrere Prozesse konfiguriert werden, einschließlich Deposition, Etch und Clean. Jedes Modul ist auch mit Sicherheitsabsperrventilen ausgestattet, so dass es für die Gefahrstoffverarbeitung geeignet ist. Der Tisch von AMAT CENTURA ist für eine Vielzahl von Substratgrößen konzipiert und kann Wafer verschiedener Formen und Materialien, einschließlich Quarz und Silizium, aufnehmen. Der Tisch weist außerdem eine verstellbare Heizung und Temperaturregelsensoren sowie ein Vakuumfutter für den sicheren Halt des Substrats während des Bearbeitungsvorgangs auf. Der Waferhalter kann an unterschiedliche Wafergrößen angepasst werden. Der Tisch kann gekippt werden, um einen Bereich von Ablagerungs- und Ätzwinkeln bereitzustellen. Um die Gleichmäßigkeit der Oberfläche des Substrats zu gewährleisten, verfügt APPLIED MATERIALS CENTURA auch über ein einstellbares Rotationssystem. Jedes Modul enthält eine Vakuumkammer und ein Vakuumpumpensystem sowie ein Einlaßventil zum Einleiten von Gasen in die Prozesskammer. Das Einlaßventil steuert die Strömung und Verteilung von Gas innerhalb der Prozesskammer, wodurch die Gleichmäßigkeit des Prozesses gewährleistet wird. Die Gasverteilung wird durch Druckabbildung innerhalb der Kammer überwacht. Die Vakuumkammer ist aus Edelstahl gefertigt und mit chemikalienbeständiger Keramik ausgekleidet und schafft eine niederdruckfreie, sauerstofffreie Umgebung. Diese Umgebung ermöglicht eine Reihe von verschiedenen Prozessen, einschließlich Abscheidung, Ätzen und Reinigung. CENTURA hat auch die Möglichkeit, zusätzliche Überwachungs- und Steuerungssysteme wie Röntgenwerkzeuge oder Prozessgasanalysatoren zu integrieren. Die Station verfügt zudem über ein Reinraummerkmal der Klasse 5, das für den Umgang mit Gefahrstoffen geeignet ist. Durch die Integration fortschrittlicher Prozessüberwachung, Analysewerkzeuge und Automatisierung ist AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA ein effizienter und vielseitiger Reaktor zur Verarbeitung von Photoresist- oder Substratmaterialien. Die Kombination aus zuverlässigen Komponenten, hoher Modularität und geringen Wartungskosten macht es zu einer kostengünstigen Lösung für eine Vielzahl von Branchen.