Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #293767195 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA Reactor ist ein Hochleistungsreaktor, der leistungsstarke Prozessfähigkeiten für Dünnschichtabscheidung und Nassätzanwendungen bietet. Es kombiniert AMAT-Standardprozessmodulkonfigurationen mit erweiterten Funktionen, die es Anwendern ermöglichen, ihre Prozesse für höhere Produktivität und Präzision zu optimieren. AMAT CENTURA ist ein einzelnes PECVD-Gerät (Wafer, Plasma Enhanced, Chemical Vapor Deposition). Es nutzt sowohl variable Frequenz und Gleichstrom (DC) Netzteile, um Dünnschichtabscheidung einer Vielzahl von Halbleitermaterialien zu ermöglichen. ANGEWANDTE MATERIALIEN CENTURA verfügt über fünf Prozessmodule - drei Plasmaätzkammern, eine Ätz-/Bandkammer und eine Abscheidekammer - die jeweils über eine einstellbare Höhe, Steigung und Neigung verfügen, um einheitliche Prozessergebnisse zu gewährleisten. Die Plasmaätzkammern von CENTURA sind so konzipiert, dass sie Hochleistungsätzen von Photoresists, Metallschichten und anderen Materialien ermöglichen. Sie verwenden Hochfrequenz (RF) -Plasmaquellen, um das für das Ätzen notwendige Plasma zu erzeugen. Die Ätz-/Streifenkammer ermöglicht sowohl das Ätzen als auch das Strippen von Photoresists und Organiken. Es ist mit einem einstellbaren Gasfördersystem ausgestattet, das die Ätzrate von Ätzmitteln optimieren kann. Die Abscheidekammer von AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA ist dort, wo die Dünnschichtabscheidung durchgeführt wird. Es ist mit Zweifrequenz-HF-Generatoren ausgestattet, um seine Magnetron-Koaxial-DC-Quelle zur hochpräzisen Filmdickensteuerung mit Strom zu versorgen. Es hat auch eine reaktive HF-DC-Vorspanneinheit, die eine gleichmäßige Vorspannung über die Waferoberfläche bietet. Die Vorspannmaschine kann auch zur Inline-Bearbeitung eingesetzt werden. Neben seinen leistungsstarken Prozessfähigkeiten verfügt AMAT CENTURA auch über erweiterte Sicherheitsfunktionen wie ein isoliertes Plasmasperre, ein Entlüftungswerkzeug und umfassende Interlocks, um Anwender vor potenziell gefährlicher Exposition zu schützen. Insgesamt ist der APPLIED MATERIALS CENTURA Reactor eine leistungsstarke, leistungsstarke Lösung, die Anwendern eine optimierte Lösung für Dünnschichtabscheidungen und Nassätzanwendungen bietet. Die anpassbaren Prozessmodule, die präzise Filmstärkenregelung und umfassende Sicherheitssysteme machen es zu einer idealen Wahl für Anwender, die maximale Leistung und Stabilität suchen.