Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9026986 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA ist ein Hochdurchsatz-CVD-Reaktor (Chemical Vapor Deposition) von AMAT. Es ist ein voll funktionsfähiges Prozesswerkzeug, das zur Abscheidung von niederdielektrischen Schichtmaterialien wie SiO2, SiN und SiOCH verwendet wird. Die Fähigkeit des CVD-Verfahrens ist nicht auf die SiO2-Abscheidung beschränkt, sondern kann auch zur Abscheidung einer Vielzahl anderer Materialien, wie Poly Si, Poly SiGe, TaN und anderen, verwendet werden. Der AMAT CENTURA Reaktor verfügt über eine große Niedervakuumkammer mit einem Durchmesser von bis zu 20 Zoll. Seine beiden Wärmezonen können unabhängig voneinander eingestellt werden, was eine gleichmäßige Abscheidung über das gesamte Substrat ermöglicht. Um den Prozessdurchsatz zu maximieren und die Produktzykluszeit zu minimieren, ist die Anlage mit einem großvolumigen Gasverteiler für schnelle Gasmischung und -lieferung ausgelegt. Der Reaktor ist mit einem Warmwandinjektor und einer Kaltwand-Niederdruck-CVD-Quelle für präzise Feststoff-CVD ausgestattet. Das System verfügt über einen linearen Duschkopf mit bis zu 40 HF-Anschlüssen, die die Reaktantgase gleichmäßig auf die Wafer/Substrat-Oberfläche verteilen. Das Gerät bietet auch eine Vielzahl von Wafer/Substrat-Transportmöglichkeiten und enthält auch interne Wasch- und Reinigungssysteme, die eine wiederholbare Verarbeitung mit ausgezeichneter Wiederholbarkeit und Gleichmäßigkeit ermöglichen. ANGEWANDTE MATERIALIEN CENTURA ist auch mit einer robusten, digitalen Steuerungsmaschine ausgestattet. Dies ermöglicht eine präzise, konsistente Regelung der Reaktortemperatur, des Drucks und der Strömungsgeschwindigkeit der Reaktantgase. Das In-situ-Monitoring von CENTURA bietet eine genaue In-situ-Charakterisierung, die entscheidend für die Wiederholbarkeit der resultierenden Schichtdicke, Gleichmäßigkeit und Qualität ist. APPLIED MATERIALS bietet eine Vielzahl von Zubehör und Features, um die Leistung des Reaktors weiter zu verbessern, wie einen Kassetten-zu-Kassetten-Endeffektor (C2C AE), der ein schnelles, automatisiertes Be- und Entladen von Substraten sowie ein Lade-, Ent- und Pumpenübergangsmodul (LUT) ermöglicht. AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA stellt ein zuverlässiges und robustes CVD-Prozesswerkzeug zur Abscheidung einer Vielzahl von niederdielektrischen Schichtmaterialien dar. Sein breites Spektrum an Prozessfähigkeiten und modularem Zubehör bietet Anwendern eine fortschrittliche Steuerung des Beschichtungsprozesses und kann in bestehende Module und Architekturen integriert werden, ohne dass wesentliche Infrastrukturänderungen erforderlich sind.