Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9040065 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA (AMAT) ist ein Reaktor, der typischerweise in Halbleiterherstellungsverfahren verwendet wird. Es wird in einer Vielzahl von KLA-Tencor Scannerkonfigurationen sowie Forschungs- und Entwicklungswerkzeugen eingesetzt. Dieses Produkt ist als vertikaler Kammerreaktor mit einer getragenen hochdichten Plasmakammer (HDP) ausgebildet. AMAT CENTURA ist mit zweistufigen isolierten Heißzonenzellen und einer rückseitigen Kaltring-Stromversorgungseinrichtung ausgestattet, um gleichmäßige Temperaturen bereitzustellen und Strom über eine größere Fläche der Kammer zu verteilen. Seine Innenwände sind mit einer Molybdänfolie beschichtet, um die Ätzeffizienz zu maximieren. ANGEWANDTE MATERIALIEN CENTURA verfügt auch über spezialisierte Ätzanwendungen, einschließlich tiefes anisotropes Ätzen, und es ist in der Lage, sowohl Positiv-Ton- als auch Negativton-Resistmaterialien zu ätzen. Dies ist durch die Plasmaquellen-Netzteile möglich, die zur genauen Einstellung der Ätzrate ausgelegt sind. Seine Kammer hat auch eine automatisierte Temperaturkompensation und Temperaturrückkopplungssteuerung, um überlegene Gleichmäßigkeit und Genauigkeit beim Plasmaätzen zu gewährleisten. Der CENTURA-Reaktor wird durch eine relative niederfrequente Plasmaquelle mit einer Vielzahl von Gasregimes wie reaktives Ionenätzen (RIE), ionengestütztes Ätzen (IAE), Ionenstrahlätzen und plasmaverbesserte chemische Dampfabscheidung (PECVD) angetrieben. AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA ist in der Lage, metallische Materialien chemisch zu reagieren und zu zerstäuben, was es zu einem großartigen Werkzeug für die Herstellung von Leiterplatten macht. Darüber hinaus hat dieses System die Flexibilität, Ätzparameter einfach und schnell auf die dynamischen Anforderungen einer bestimmten Anwendung abzustimmen. Das Design von AMAT CENTURA ermöglicht die Erweiterung bestehender Ausrüstungsplattformen auf höhere Produktionsvolumina und ermöglicht Prozessänderungen, um unterschiedlichen Anwendungsanforderungen gerecht zu werden. Diese Flexibilität ermöglicht schnelle Änderungen bei minimalen Ausfallzeiten und erhöhten Durchsätzen. Mit den Optionen der Unit-Configuration von APPLIED MATERIALS können Anwender Änderungen an der Kammer vornehmen, um höhere Durchsätze zu erzielen, die Ätzraten zu senken oder sogar Änderungen an den Prozessprotokollen für verschiedene Materialien vorzunehmen. ANGEWANDTE MATERIALIEN CENTURA ist eine zuverlässige und langlebige Maschine mit einer Reihe von Sicherheitsmerkmalen. Die Einheit ist in einem Edelstahlgehäuse untergebracht, und sowohl die Sicherheitsverriegelungen als auch der verstellbare Gaskrümmer wurden entwickelt, um Unfallrisiken zu reduzieren und Personal zu schützen. Die Kammerwände sind aus Aluminiumlegierung aufgebaut und mit thermisch stabilen Glasabdeckplatten versehen, und ein Abgasgebläse ist enthalten, um gefährliche Abfälle zu evakuieren. CENTURA ist ein Halbleiterreaktor, der eine Reihe von Funktionen bietet, die die Ätzleistung optimieren, die Genauigkeit steuern und die Gesamteffizienz erhöhen. Seine Flexibilität und Haltbarkeit dienen als ausgezeichnete Plattform für eine Vielzahl von Anwendungen, die genaue Ätz- und Sputtermetallquellen erfordern. Das Werkzeug kommt auch mit einer Reihe von Sicherheitsfunktionen, so dass es ein sicheres und zuverlässiges Werkzeug.