Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9104375 zu verkaufen
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Der AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA Reaktor ist ein hochmodernes Werkzeug für die Herstellung von Halbleiterbauelementen und sorgt für kontrolliertes, gleichmäßiges Ätzen und Abscheiden. Die Prozesskammer ist mit einem ummantelten Quarzrohr, das zur Verhinderung eines Gasaustritts abgedichtet ist, sowie einem innovativen Substratträgersystem ausgebildet. Dies hilft, einen höheren Sauberkeitsstandard während des Ätz- und Abscheidungsprozesses zu erhalten. AMAT CENTURA ist mit einem fortschrittlichen robotergesteuerten Waferübertragungssystem ausgestattet, das es ermöglicht, Wafer während des Ätz- und Abscheidungsprozesses präzise von und zur Kammer zu bewegen. Dadurch wird die maximale Genauigkeit und Kontrolle des abgeschiedenen Materials gewährleistet. APPLIED MATERIALS CENTURA verfügt zudem über ein einstellbares Präzisionsgaseinspritzsystem, das eine präzise Steuerung von Ätzgasen und Abscheidungsmaterialien ermöglicht. CENTURA ist auch in der Lage, eine Vielzahl von Folien mit einer Vielzahl von CVD-Verfahren abzuscheiden, einschließlich Niederdruck-CVD, Hochdruck-CVD und hohe Gasdichten. Dies kann geschehen, um Filme so dünn wie 10nm und 0.1nm abzuscheiden. Je nach Verfahren kann der Reaktor Abscheideraten von bis zu 200mm/min erreichen. AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA kann auch für Glüh- und Reflow-Prozesse verwendet werden, so dass es in Verbindung mit einer Vielzahl anderer Herstellungsverfahren verwendet werden kann. Es wurde entwickelt, um die Verzerrung des Substrats während des Prozesses zu minimieren, was eine konstante und qualitativ hochwertige Leistung gewährleistet. Zusätzlich kann AMAT CENTURA für die Ätzung von Wafer- und Maskenanwendungen konfiguriert werden. Angewandte Materialien CENTURA Reaktor ist auch mit einem fortschrittlichen und vielseitigen Quellschrank entwickelt, ermöglicht eine strenge Kontrolle über die Prozessbedingungen. Es umfasst einstellbare Gasvorwärmer und Kühlanlagen sowie eine unabhängige Steuerung über mehrere Gasversorgungskanäle. Darüber hinaus kann der Quellschrank mit zusätzlichen Abgas- und Vakuumsystemen konfiguriert werden, um eine maximale Kontrolle über Ätzselektivität und Atomzusammensetzung zu gewährleisten. Insgesamt ist CENTURA ein hochpräzises, zuverlässiges und flexibles Werkzeug, das den Herstellern die Präzision und Kontrolle gibt, die sie für ihre technologischen Herausforderungen benötigen, um sicherzustellen, dass sie die besten Produkte erhalten.
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