Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9146407 zu verkaufen
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AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA ist ein Hochleistungsreaktor zur Herstellung fortschrittlicher Halbleiterbauelemente. Es wurde entwickelt, um effizient komplexe, ultradünne Materialschichten mit außergewöhnlicher Gleichmäßigkeit und extrem niedrigen Defektraten zu erstellen. Damit ist AMAT CENTURA sowohl für die Forschung und Entwicklung neuer Halbleitertechnologie als auch für die Massenproduktion bestehender Technologien optimal. Die Funktionen von APPLIED MATERIALS CENTURA beginnen mit ihrem fortschrittlichen Design. Es verfügt über eine modulare Prozesskammer und die Fähigkeit, eine Vielzahl von Abgassystemen zu integrieren. Dies ermöglicht den Einsatz in vielen verschiedenen Produktionsprozessen und Substraten, wie Siliziumscheiben und Flachbildschirme. CENTURA ist auch mit einer fortschrittlichen Formationssteuerung und einem universellen Spannfutterdesign ausgestattet. Dadurch kann eine Vielzahl von Prozessparametern wie Temperatur, Druck und Abscheiderate exakt gesteuert werden. AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA ist zusätzlich mit einem fortschrittlichen Prozessmanagementsystem ausgestattet. Dies ermöglicht es, Prozessrezepte aus mehreren Quellen zu speichern und abzurufen, so dass sie schnell von einem Prozessrezept zum anderen wechseln können. Darüber hinaus hat es die Fähigkeit, verschiedene Prozessvariablen in Echtzeit zu überwachen, um eine optimale Leistung zu gewährleisten. Herzstück von AMAT CENTURA ist seine niederdruckinduktiv gekoppelte Plasmaquelle (ICP). Diese Plasmaquelle besteht aus einer Elektronenzyklotronresonanz (ECR) -Plasmaquelle und einer Magnetspuleneinheit. Die ECR-Quelle erzeugt eine hochkonzentrierte Plasmaquelle mit geringem Gasverbrauch und minimaler Schmutzabscheidung auf dem Substrat. Die Magnetspulenmaschine, die einen HF-Hohlraum umfasst, ermöglicht eine gleichmäßige Verteilung und hohe Dichten von Ionen im Plasma. Dies gewährleistet eine gleichmäßige Abscheidung über das gesamte Substrat. ANGEWANDTE MATERIALIEN CENTURA wird dann mit einem Filament Emission Monitor (FEM) ausgestattet. Dies erfasst und überwacht den Stromfluss und die Temperatur des ECR-Plasmas, um eine optimale Prozessleistung zu gewährleisten. Darüber hinaus verfügt CENTURA über automatisierte Waferübertragungs- und abnehmbare Waferboote, die ein schnelles und effizientes Be- und Entladen von Wafern ermöglichen. AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA ist ein außergewöhnlich fortschrittlicher Reaktor, der speziell entwickelt wurde, um die anspruchsvollsten Anforderungen an die Herstellung anspruchsvoller und ultradünner Schichten aus fortschrittlichen Materialien mit höchster Qualität, Leistung, Wiederholbarkeit und niedrigen Fehlerraten zu erfüllen. Mit seinem fortschrittlichen Design und seinen Fähigkeiten ist AMAT CENTURA ein ideales Werkzeug für Forschung und Entwicklung sowie für die Massenproduktion moderner Halbleitertechnologien.
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