Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9160524 zu verkaufen

AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA ist ein fortschrittlicher Trockenätzreaktor, der entwickelt wurde, um Halbleiterherstellern überlegene Prozessleistung, Umweltsicherheit und Kostenreduzierung zu bieten. Dieser Reaktor verwendet branchenführende Technologien zum Ätzen, anisotropen Ätzen und Tiefätzen von ein- und mehrschichtigen Strukturen mit außergewöhnlicher Präzision und Zuverlässigkeit. Die Ausrüstung ist aus einem langlebigen Edelstahlkörper aufgebaut, der hoch korrosionsbeständig ist, und seine geringen Leistungsanforderungen, sensorgesteuerte Prozesssteuerungen, hohe Durchsatzkapazitäten und optionale Prozessüberwachungs- und Steuerungsfunktionalität gewährleisten einen effizienten Betrieb und genaue Ergebnisse. AMAT CENTURA ist mit fortschrittlicher Ätztechnologie ausgestattet, einschließlich UHAR-Ätzfunktionen (Ultra High Aspect Ratio) und Dual-Frequency-Netzteilen. Dies ermöglicht eine überlegene Leistung bei Tiefätzen und größeren Prozessfenstern für schwer ätzbare Materialien. Das System enthält auch eine ultraschnelle Verschlusseinheit, die die Ätzzeit reduziert und den Prozessdurchsatz verbessert. Darüber hinaus ermöglicht eine patentierte elektrostatische Spannfutter (ESC) -Technologie eine optimale Planarisierung und verhindert eine Röntgenschädigung des Wafers während der Verarbeitung. APPLIED MATERIALS CENTURA verfügt über optionale Funktionen wie ein PECVD-Modul zur schnellen Oxidation und Nitridierung des Wafers und ein erweitertes Modul zur Verbesserung der Oxidätzgleichmäßigkeit. Die Maschine verfügt auch über erweiterte Wafer-Mapping-Funktionen und Prozessüberwachung, die eine direkte Visualisierung des Ätzprofils und der Prozesshistorie ermöglicht. Darüber hinaus ist CENTURA in der Lage, Prozessprobleme sofort zu erkennen, so dass sofort Korrekturmaßnahmen ergriffen werden können. Um ein Höchstmaß an Sicherheit und Zuverlässigkeit zu gewährleisten, ist AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA mit einem Gasförder- und Regelwerkzeug, einer automatisierten Gleichförmigkeitskorrektur für Ätzprozesse auf Waferebene und einem integrierten Prozesssteuerungsmodell für die Genauigkeit bei der Aufrechterhaltung kritischer Prozessparameter ausgestattet. Das Gerät umfasst auch ein integriertes Plasma-Diagnosesystem zur Verbesserung der Ätzleistung sowie Unterstützung für fortschrittliche Prozessanalysen zur Erkennung von Fehlern oder Prozessinstabilitäten. Schließlich ist AMAT CENTURA sowohl benutzerfreundlich als auch kostengünstig konzipiert, und seine automatisierte Prozesssteuerung, benutzerfreundliche Programmierung und Wartungsoptionen machen dieses Gerät ideal für kurze und lange Produktionsläufe. Gepaart mit seiner hervorragenden Prozessleistung und Zuverlässigkeit ist APPLIED MATERIALS CENTURA die ideale Wahl für jeden Halbleiterhersteller, der nach Dry-Etch-Reaktortechnologie sucht.