Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9167547 zu verkaufen

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ID: 9167547
Wafergröße: 8"
WCVD System, 8".
AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA ist ein Standardreaktor, der bei der Herstellung verschiedener dünnschichtbasierter Geräte verwendet wird. Es ist einer der fortschrittlichsten und am häufigsten verwendeten Reaktoren in der Halbleiterherstellung heute. Der AMAT CENTURA Reaktor ist für die hochvolumige Halbleiterverarbeitung ausgelegt und arbeitet bei einer Temperatur von 500 ° bis 900 ° C (je nach Prozessanforderungen). Es verwendet mehrere Prozesskammern, die es ermöglichen, eine Vielzahl von Prozessschritten innerhalb eines einzigen Werkzeugs abzuschließen. Es kann eine Vielzahl von Prozesschemien unterstützen, einschließlich PE-CVD, Sputterabscheidung, Ätz- und Metallabscheidung und reinigt. Der Reaktor ist mit zwei verschiedenen Teilen ausgelegt: der Kammermontage und einer Automatisierungseinrichtung. Die Kammeranordnung besteht aus den Kammerkomponenten wie geteilter Duschkopf, Suszeptoreinsatz, Substratübertragungsarm und Spülkammer, die primäre Bestandteile der Reaktorkammer sind. Das Automatisierungssystem besteht aus der Prozesssteuerung, EPC-Steuereinheit (elektrisch programmierbarer Reaktor) und weiteren Prozessüberwachungs- und Steuerungskomponenten. Angewandte Materialien CENTURA Reaktor ist mit der neuesten Prozesssteuerungssoftware ausgestattet, bietet eine Echtzeit-Prozess-Parameter-Steuerung und Daten-Tracking. Diese Einheit ist in der Lage, eine Vielzahl von Halbleiterprozessen durchzuführen, einschließlich physikalischer Aufdampfung (PVD) und chemischer Aufdampfung (CVD). Es unterstützt auch verschiedene Ätzprozesse, sowie Metallabscheidung. Darüber hinaus ist es mit einer schnellen Gasabgasmaschine und Überdrucksicherheitsmerkmalen ausgestattet. CENTURA ist mit einer einfachen, aber robusten Konstruktion konzipiert, die eine lange Lebensdauer und eine qualitativ hochwertige Verarbeitungsleistung gewährleistet. Es ist mit einem zuverlässigen, hocheffizienten Prozesssteuerungswerkzeug ausgestattet, das komplizierte, sich wiederholende Prozesssteuerungsaufgaben mit Genauigkeit und Präzision durchführen kann. Durch Anpassung der Prozessparameter und Datenlogging-Optionen kann das Asset einfach an unterschiedliche Prozessanforderungen konfiguriert werden. Das überlegene Design und die integrierten Eigenschaften des AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA Reaktors ermöglichen es, zuverlässige und präzise Verarbeitungsergebnisse zu liefern. Dank seiner Benutzerfreundlichkeit und flexiblen Prozessleitsysteme eignet es sich gleichermaßen für serienarme oder serienreiche Umgebungen. Der Reaktor ist in der Lage, ein großes Volumen komplexer Musteraufgaben mit ausgezeichneter Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu bewältigen. Insgesamt ist AMAT CENTURA ein leistungsstarkes und vielseitiges Werkzeug, das sich ideal für Halbleiterverarbeitungsanwendungen eignet.
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