Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9170825 zu verkaufen
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ID: 9170825
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2002
CVD System, 8"
(4) Chambers
Type: Microwave
WSIX Optima
Fab interface: Front panel and GEM MCC
Load lock option: NBLL With 90° tilt out
Standard wafer mapping
Wafer sensor: Wafer out of cassette sensor (NBLL only, includes cass present sensor)
Manual transfer Ch hoist
Robot type: HP
Robot blade type: Metal (CES)
Vacuum facilities: Back end
Chambers A, B, C and D:
Chamber type: WxZ
Chamber process: WCVD
Endpoint
Standard TV
Standard Lid
Chamber E:
Type: Orienter
Chamber F:
Type: Cool down
Multi-slot cool down
OPTIMA System controller
Power service: Top
Monitors: TTW
System robot: HP
Gas panel type: Seriplex
Gas panel enclosure, 29"
G.P Facilities: Bottom feed SL (CES)
G.P Exhaust: Top
Gas line filters: Mott
BROOKS 6256 MFC
Backside cooling: Chamber A, B, C and D
Clean type: Microwave
(2) EMO's Mainframes
(2) EMO's Controllers
MF Exhaust: Top
Power service: Top
MFC Gasses:
Position A:
Size / Type
500 / N2
2000 / H2
30 / SIH4
30 / WF6
150 / NF3
3000 / AR
3000 / AR
500 / H2
Position B:
Size / Type
500 / N2
2000 / H2
30 / SIH4
30 / WF6
150 / NF3
3000 / AR
3000 / AR
500 / H2
Position C:
Size / Type
500 / N2
2000 / H2
30 / SIH4
30 / WF6
150 / NF3
3000 / AR
3000 / AR
500 / H2
Position D:
Size / Type
500 / N2
2000 / H2
30 / SIH4
30 / WF6
150 / NF3
3000 / AR
3000 / AR
500 / H2
Missing parts:
SBC Board
VGA Board
Floppy Disk Drive (FDD)
Center find board
Chamber E encoder motor
Chamber lid cover (All chamber)
ORIENTE Interface board and CCD board
Power supply: AC 208 V, 3 Phase, 320 A, 60 Hz
2002 vintage.
AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA Reaktor ist ein sehr vielseitiger und technologisch fortschrittlicher Reaktor zur Herstellung von integrierten Schaltungen (ICs). Es ist speziell für die verbesserte Produktion von sehr großen integrierten Schaltungen (VLSIs) und anderen fortschrittlichen Prozesstechnologien konzipiert. AMAT CENTURA Reaktor hat ein einzigartiges Design, das es dem Anwender ermöglicht, eine breite Palette von Technologien in den Montageprozess zu integrieren. Es basiert auf einer modularen Architektur, die einen Satz modularer Plattformrahmen verwendet, um das Setup anzupassen. Dadurch kann der Anwender mehrere verschiedene Prozessschritte schnell und präzise in das Gerät integrieren. Das System ist äußerst benutzerfreundlich, so dass Ingenieure den Herstellungsprozess in wenigen Minuten problemlos beginnen können. Darüber hinaus bietet es eine Plattform für die Prozessentwicklung und den Prototypenbau neuer Technologien. Der Kern der Anlage ist ein fortschrittlicher Mehrzonenreaktor, der eine Vielzahl von Prozessen ermöglicht. Sie ist in der Lage, Trockenätzen, Naßätzen, Abscheiden und Sputtern durchzuführen. Die mehreren thermischen Zonen des Reaktors ermöglichen auch die Integration mehrerer Fertigungsprozesse bei unterschiedlichen Temperaturen. Der Reaktor verfügt auch über einen computergesteuerten Temperaturregler, so dass jede Temperaturzone genau geregelt werden kann. Die Maschine verfügt außerdem über mehrere Sicherheitsmerkmale, die dafür ausgelegt sind, dass der Prozess sicher durchgeführt wird. Es verfügt über ein Druckbetriebsmodul mit einem Stickstoffspülwerkzeug und Sicherheitsventilen, die dafür sorgen, dass der Druck innerhalb des Reaktors in akzeptablen Grenzen ist. Darüber hinaus verfügt das Asset über eine integrierte Ionenquelle und einen Ionenimplantator. Dadurch kann der Anwender verschiedene Ionenimplantationsprozesse durchführen, mit denen die elektrischen Eigenschaften der hergestellten ICs verändert werden. Das Modell enthält auch mehrere Automatisierungsoptionen. Dazu gehören ein automatisches Probenahme- und Sammelgerät, ein Sicherheitspanel zur Überwachung des Prozesses und ein einfach zu bedienendes Rezeptsystem. Zusammenfassend ist der CENTURA-Reaktor von APPLIED MATERIALS/APPLIED MATERIALS eine leistungsstarke, vielseitige und technologisch fortschrittliche Einheit zur Herstellung integrierter Schaltungen. Sein einzigartiges Design ermöglicht die Einbindung mehrerer Prozessschritte und seine Sicherheitsmerkmale stellen sicher, dass die Maschine sicher und zuverlässig ist.
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