Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9203384 zu verkaufen
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AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA ist eine Art von CVD-Reaktor (Chemical Vapor Deposition), der verwendet wird, um dünne Schichten aus verschiedenen Materialien auf einem Substrat zu erzeugen. Das Gerät besteht aus einer Hauptkammer, Kammerwänden und einem Suszeptor, der die Wafer während des Abscheidungsprozesses hält. Die Kammer ist mit zwei Sensoren ausgestattet, die den Druck innerhalb des Reaktors überwachen. Die Reaktoren können auch eine Reihe von Vorstufen aufnehmen, wie Silan, Phosphin und Bortrichlorid, die zur Abscheidung der Materialschichten verwendet werden. Das AMAT CENTURA-System ist so konzipiert, dass es eine vollständige Prozesssteuerung und -überwachung sowie eine saubere Umgebung bietet. Die Kammerwände bestehen aus einem Quarzmaterial mit hohem Nitrid, das das Ausgasen und die Diffusion während der Verarbeitung reduziert, wodurch eine gleichbleibende, hochwertige Fertigschicht gewährleistet wird. Die Kammerwände haben mehrere Leitbleche auf der Ober- und Unterseite und sind mit Stickstoff gefüllt, um die ideale Umgebung innerhalb zu schaffen. Darüber hinaus verfügen die Kammerwände und die Tür über eine Auspuffeinheit, um einen kontinuierlichen Luftstrom in die Kammer zu gewährleisten, um Verunreinigungen oder Verunreinigungen zu reduzieren, die die Endschicht anlaufen können. Der Suszeptor ist auch bei der Abscheidung von Bedeutung und wird typischerweise an einem beheizten Sockel befestigt, der hilft, während des Prozesses eine gleichmäßige Temperatur im gesamten Substrat aufrechtzuerhalten. Die mit einer Opferschicht aus Materialien wie Titannitrid beschichteten Wafer werden über einen Roboterarm auf den Suszeptor geladen. Der Roboterarm ist auch dafür verantwortlich, die Wafer während des Abscheideprozesses zu positionieren und nach Abschluss des Prozesses zu entfernen. Angewandte Materialien CENTURA Systeme sind für eine Reihe von Anwendungen konzipiert, so dass Benutzer dünne Filme aus Metallen, Halbleitern, Isolatoren und Dielektrika produzieren können. Die Maschine ist auch in der Lage, Materialien wie Galliumarsenid, Indiumphosphid und Zinnoxid abzuscheiden. Der Abscheideprozess ist vollständig umschlossen, so dass während des Abscheideprozesses keine Verunreinigungen oder Verunreinigungen eingebracht werden, die eine vollkommen saubere und konsistente Materialschicht ermöglichen. Schließlich wurde das Tool mit einer benutzerfreundlichen Oberfläche und einer Reihe von Sicherheitsfunktionen entwickelt, wodurch es einfach zu bedienen und zu warten ist.
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