Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9203459 zu verkaufen
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AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA ist ein Reaktortyp, der zur Abscheidung dünner Materialschichten auf einem Substrat (Oberfläche), wie z.B. bei der Erzeugung von Solarzellen, ausgelegt ist. Es handelt sich um einen physikalischen PVD-Reaktor, der speziell für die Produktion von Photovoltaikzellen in großem Maßstab entwickelt wurde. AMAT CENTURA besteht aus mehreren Komponenten, die zusammenarbeiten, um einen kontrollierten Materialfluss auf das Substrat zu liefern. Die Hauptkammer besteht aus einem Quarzrohr mit einem Innendurchmesser von mehreren Füßen, das oben und unten abgedichtet ist. Diese Innenkammer wird auf hohe Temperaturen erhitzt, typischerweise um 950C herum. An der Hauptkammer sind zwei weitere Seitenkammern angebracht, die getrennt auf unterschiedliche Temperaturen erwärmt werden. Innerhalb der Hauptkammer befinden sich mehrere Gasein- und -auslässe, die zur Materialabscheidung dienen. Die Gaseinlässe liefern typischerweise Gase wie Wasserstoff, Fluorwasserstoff und Sauerstoff, und die Auslässe werden verwendet, um die Abgase abzugeben, die nach dem Abscheiden des Materials entstehen. Das zu beschichtende Substrat wird an einem Arm befestigt, der dann in die Kammer hineinbewegt und durch eine Roboterbewegungssteuerung in die gewünschte Position gebracht wird. Sobald das Material abscheidefähig ist, wird ein Targetmaterial, wie ein Siliziumwafer, auf das Substrat aufgebracht. Sobald das Zielmaterial in der richtigen Position ist, wird es dann durch die beiden Seitenkammern erwärmt, und die Gaseinlässe beginnen, die Gasgemische für die Abscheidung zuzuführen. Die Manipulation der Gasgemische erfolgt mit einem Rückkopplungssystem, das sicherstellt, dass die gewünschten Qualitäten in der Abscheidung vorliegen. Der Reaktor weist auch eine Reihe weiterer Verfahren auf, mit denen die Abscheidung gesteuert werden kann, wie z.B. die Verwendung eines rotierenden Targets zur Erzeugung einer gleichmäßigen Beschichtung. Sobald die Abscheidung abgeschlossen ist, wird der Arm aus der Kammer herausgezogen und das Substrat kann dann sicher entfernt und die Materialschicht darauf überprüft werden. ANGEWANDTE MATERIALIEN CENTURA ist ein robustes, zuverlässiges und effizientes System zur großflächigen Abscheidung von Photovoltaikzellen und anderen Technologien.
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