Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9218563 zu verkaufen

Der AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA (AMAT CENTURA) Reaktor ist eine spezialisierte Verarbeitungskammer, die für Anwendungen im Hochvolumen-, Hochtemperaturätzen, Abscheiden und Oberflächentechnik entwickelt wurde. Unter Verwendung fortschrittlicher Plasmatechnologien kann der CENTURA-Reaktor ANGEWANDTE MATERIALIEN für eine Vielzahl von Waferherstellungsprozessen wie chemische Dampfabscheidung (CVD), physikalische Dampfabscheidung (PVD) und Ionenimplantation verwendet werden. Dieser All-in-One-Prozess ist eine effiziente und kostengünstige Lösung für alle Hersteller, unabhängig von der Anwendung oder Komplexität. CENTURA Reaktor ist eine fortschrittliche Plasmatechnologie, die ein Elektronenzyklotronresonanz (ECR) Induktionsfeld verwendet. Dieser ECR bietet die höchsten Temperatur-Plasmabedingungen, die jede andere verfügbare Abscheidungsmethode überschreiten, und ist ideal für Anwendungen bei hohen Prozesstemperaturen wie Aushärtung von Epoxid und Gläsern. Die ausgeklügelte Technologie der ECR-Plasmaquelle ermöglicht eine einfache Anpassung unterschiedlichster Prozessbedingungen und Parameter für maximale Prozessausbeute und -leistung. AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA Reaktor kann verwendet werden, um eine Vielzahl von Materialien einschließlich Oxide, Nitride und Oxynitride abzuscheiden. Es kann auch zum Ätzen von Silizium, Oxiden und Photoresists, einschließlich Strukturen mit hohem Aspektverhältnis, verwendet werden. Das einzigartige kundenspezifische Kammerdesign des Reaktors ermöglicht eine Hochdurchsatzproduktion mit schnelleren Ätz- und Abscheidegeschwindigkeiten als andere Plasmabearbeitungsverfahren. Der AMAT CENTURA Reaktor verfügt zudem über ein einzigartiges Mehrzonen-Gewichtsbeladungssystem, das volle Flexibilität beim Be- und Entladen von Wafern ermöglicht. Dies macht das System perfekt für eine enge Integration in verschiedene Prozesse und ermöglicht erhöhte Durchlaufzeiten beim Be- und Entladen von Wafern. Die Netzteile sind so konzipiert, dass sie extrem geringe Geräuschpegel bieten und vor Schwankungen während der Prozessabläufe schützen. APPLIED MATERIALS CENTURA Reaktor ist ein fortschrittliches Plasmabearbeitungswerkzeug, das beispiellose Leistung in Ätz-, Abscheidungs- und Hochtemperaturanwendungen bietet. Es bietet eine hervorragende Temperaturregelung für Prozessstabilität und ist für maximalen Durchsatz ausgelegt. Mit seiner hervorragenden geräuscharmen Stromversorgung, einem überlegenen Mehrzonengewichtsbelastungssystem und einem zuverlässigen ECR-Induktionsfeld ist der CENTURA-Reaktor eine ideale Wahl für alle Ihre Plasmabearbeitungsanforderungen.