Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9227018 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA ist ein Hochvakuum, chemisch/physikalische Dampfabscheidung (CVD/PVD) Reaktor. Diese Art von CVD/PVD-Reaktor wird häufig für Hochleistungsanwendungen wie Mikroelektronik und Optoelektronik eingesetzt. Zu den Schlüsselkomponenten des AMAT CENTURA Reaktors gehören eine Prozesskammer, eine Vakuumpumpe, eine Abscheidungsquelle, eine Gasplatte und eine Prozesssteuerungseinrichtung. Die Prozesskammer ist Hauptbestandteil des Reaktors und besteht aus einer verschließbaren Kammer und einem Türsystem, das zur Regelung der Atmosphäre in der Kammer geöffnet und geschlossen werden kann. Innerhalb der Prozesskammer werden die gasförmigen Reaktionspartner in eine von der Vakuumpumpe erzeugte Vakuumumgebung eingeleitet. Die Reaktanden werden dann einer hohen Temperatur, typischerweise bis zu 1100 ° C, ausgesetzt, die von der Abscheidungsquelle eingestellt wird. Die Abscheidungsquelle kann je nach Anwendung ein Elektronenstrahlverdampfer, eine induktiv gekoppelte Plasmaquelle oder eine Widerstandsverdampfungsquelle sein. Die im Reaktor APPLIED MATERIALS CENTURA installierte Gasplatte ist für die Einleitung der Reaktanden in die Prozesskammer entsprechend den vom Anwender festgelegten spezifischen Parametern verantwortlich. Es ist auch in der Lage, die Geschwindigkeit und den Prozentsatz des verwendeten Gases zu kontrollieren. Zusätzlich enthält das Gaspanel Sensoren und Absperrventile, die es dem Benutzer ermöglichen, den Durchfluss und die Aktivierung jeder Komponente des Abscheidegemisches zu steuern. Die Prozesssteuerung ist für die Steuerung und Überwachung der Parameter der Reaktorkammer zuständig. Die Prozesssteuerungsmaschine ist in der Lage, die Abscheiderate und die Temperatur des Abscheidungssubstrats sowie den Druck der Kammeratmosphäre zu erfassen. Es verfügt auch über Parameter zur Anpassung der Temperatur, der Arbeitsatmosphäre und anderer Variablen, um den Abscheidungsprozess zu optimieren. CENTURA Reaktor ist ein leistungsstarkes Werkzeug, das seit mehreren Jahrzehnten in der Mikroelektronik- und Optoelektronikindustrie weit verbreitet ist. Seine Hochvakuumfähigkeit, seine ausgeklügelten Abscheidungsquellen und sein starkes Prozesskontrollwerkzeug ermöglichen die Erstellung hochentwickelter und komplexer Mikrostrukturen, die für die modernsten Werkstofftechnologieanwendungen benötigt werden.