Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9245641 zu verkaufen

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ID: 9245641
Wafergröße: 12"
CVD System, 12" Includes: 0010-08687 Upper chamber A Ultima X HDP-CVD 0010-08687 Upper chamber B Ultima X HDP-CVD 0190-02955 Centura factory interface FFU-AMT -S1 0010-23250 Monolith unplat, 12" ADVANCED ENERGY 3155120-001 A RF Rack 330241-D3GP Gas box platform, 12" (2) SMC CORPORATION INR-498-011B Thermo chillers 0190-4213, 1B05180G03 HDP-CVD Primary AC distribution, 12" Factory interface components: (2) NEWPORT KENSINGTON 25-3700-1425-08 Robots (2) KENSINGTON LABORATORIES Servo positioning controllers (2) TKD CORPORATION TAS300, 02TF12953, 0190-17837 Load ports KENSINGTON LABORATORIES 25-3600-0300-03 Wafer indexer RF Rack components: (2) ADVANCED ENERGY A3H0C200BA120G001A RF Generators, 10 kW/13 (2) ADVANCED ENERGY HFV 8000, 3155083-180A, 0920-0112 RF Generators Robot NSK Driver (2) RPS Units Missing parts: Interconnect cables Controller cabinet.
AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA Reactor ist ein Werkzeug zur Konstruktion von Nanostrukturen mit epitaktischen Techniken. Es ist ein vielseitiges, flexibles und effizientes Halbleiterherstellungsgerät. Es verfügt über drei Kammern und verwendet eine 13,56 MHz Hochfrequenzquelle, um Energie an das Substrat zu liefern, was eine hochpräzise Abscheidung und Ätzung ermöglicht. Die Primärkammer von AMAT CENTURA Reactor ist das Substratabscheidungssystem. Diese Einheit dient zum Aufbringen des Gerätematerials auf das Substrat und wird mit einem Quarzkristalldruck-ausgeglichenen hochauflösenden Schrittmotor gesteuert. Diese Maschine kann für verschiedene Prozesse wie Sputtern, DC-Magnetron-Sputtern, Brennersputtern und Plasma verbesserte chemische Dampfabscheidung (PECVD) eingestellt werden. Dieses Werkzeug ist auch in der Lage, mehrere Substrate verschiedener Größen gleichzeitig zu handhaben. Die zweite Kammer von APPLIED MATERIALS CENTURA Reaktor ist das epitaktische Gut. Diese Kammer verfügt über eine HF-Vorspannung zum Aufbringen einer Vorspannung auf das Substrat, die das direkte Schreiben der gewünschten Nanostrukturen mit der Elektronenkanone ermöglicht. Dieses Modell ist auch in der Lage, die gewünschten Nanostrukturen mit einer sehr hohen Präzision und einer hohen Geschwindigkeit zu ätzen. Diese Kammer ermöglicht auch das Glühen der Vorrichtungen, eine Stufe, die zur Stabilisierung des Gerätematerials erforderlich ist. Die letzte Kammer des CENTURA Reactor ist die Metrologiekammer, die messtechnische Werkzeuge wie ein optisches Mikroskop, ein Atomkraftmikroskop (AFM), ein Rasterelektronenmikroskop (SEM) und ein Ellipsometer umfasst. Die Verwendung dieser Werkzeuge ermöglicht eine hochauflösende Abbildung der Nanostrukturen sowie eine kinetische Analyse ihrer Eigenschaften. AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA Reactor ist ein zuverlässiges Hochleistungswerkzeug zur Herstellung von Nanostrukturen. Mit seinen drei Kammern und fein abgestimmten HF-Systemen kann dieses Werkzeug verwendet werden, um Nanostrukturen der kompliziertesten Designs mit einer sehr hohen Präzision und Geschwindigkeit zu fertigen. Seine Vielseitigkeit und Effizienz machen es zu einer kostengünstigen, zuverlässigen und eine ausgezeichnete Wahl für jede Nanostrukturherstellung Anwendung.
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