Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9282471 zu verkaufen
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ID: 9282471
System
(5) AMAT Enabler
(3) Chamber Enabler
(1) Generator rack
(1) EFEM with YASKAWA Robot
VHP Robot
TDK Loadport.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Enabler ist ein vielseitiger Reaktor für eine Reihe fortschrittlicher Prozesse. Es verfügt über eine fortschrittliche Quarzpulverform, die es ideal für Hochtemperaturprozesse und ultraflache Oberflächenprofile macht. Es bietet auch niedrige Kosten, geringe Wartung und hohe Zuverlässigkeit. Der Enabler wurde mit einer Vielzahl von Merkmalen entwickelt, um den Anforderungen an hochfunktionelle, komplexe Prozesse wie Niedertemperaturoxidwachstum und Kupferätzen gerecht zu werden. Der Enabler verfügt auch über erweiterte Fähigkeiten wie Vakuumabscheidung, elektrochemische, thermische Oxidation, Ätzen, Metallabscheidung und Dünnschichtabscheidungsprozesse. Der Enabler wurde entwickelt, um das Beste aus einer einzigen Kammer zu machen. Es hat eine geringe Stellfläche und niedrige Betriebskosten. Der Enabler ist in der Lage, qualitativ hochwertige Funktionen mit den wiederholbarsten Ergebnissen zu erstellen. Bei der Verwendung des Enablers für Dünnschichtprozesse ist es beispielsweise möglich, Strukturen zu schaffen, die bis zu 37 nm breit sind und sowohl eine Linienbreitensteuerung als auch eine kritische Maßtreue aufweisen. Der Enabler bietet auch ultrahohe Durchsatz- und Tieftemperaturprozesse. Sein Design vereint hohe Genauigkeit und Mehrkammerzugang für parallele Prozesse. Dies ermöglicht die Schaffung größerer Flächen und komplizierter Strukturen, die ansonsten schwer zu erreichen wären. Dies ist besonders nützlich für Wafer-Füllstandsprozesse wie Dielektrika, die mit Geschwindigkeiten von bis zu 270 nm/min abgeschieden werden können. Der Enabler verfügt zudem über eine integrierte Prozesssteuerung, die eine hohe Auslastung der Prozessanlagen ermöglicht. Es bietet auch eine benutzerfreundliche Softwaresteuerung, um eine nahtlose Integration der Prozessparameter zu ermöglichen. Dies gewährleistet einen konsistenten Softwarebetrieb und ermöglicht eine Lückenregelung und Substratgleichförmigkeit. Der Enabler ist sehr leistungsfähig und somit eine ideale Wahl für eine Reihe fortschrittlicher Prozesse. Sein Design und seine Eigenschaften machen es zu einer ausgezeichneten Wahl für etablierte Prozesse und neue Forschung oder Entwicklung. Seine Fähigkeiten, kombiniert mit niedrigen Kosten, geringer Wartung, und die hohe Zuverlässigkeit alle machen es eine gute Wahl für eine Reihe von Anwendungen.
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