Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9282472 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA ist ein Abscheidungsreaktor zur Halbleiterverarbeitung. Es ist eine branchenführende Plattform, um verschiedene Substratabscheidungstechnologien wie Atomschichtabscheidung (ALD), chemische Dampfabscheidung (CVD) und Sputtern zu ermöglichen. Es ist eines der am weitesten verbreiteten plasmaverbesserten Abscheidungswerkzeuge in der Halbleiterindustrie. Der AMAT CENTURA Reaktor bietet eine Plattform für mehrstufige Prozessabläufe, die auf die Anforderungen jedes einzelnen Prozesses zugeschnitten werden können. Diese Sequenzen umfassen thermische Verarbeitung, plasmabasierte Abscheidung, Ätzen und Ionenimplantation. Durch diese Flexibilität kann das Werkzeug für eine Vielzahl von Abscheideprozessanwendungen eingesetzt werden. Darüber hinaus kann der Reaktor mit einer Vielzahl fortschrittlicher Analysewerkzeuge ausgestattet werden, mit denen der Prozess in Echtzeit überwacht wird. Der Advanced Materials APPLIED MATERIALS CENTURA Reaktor ist mit einer breiten Palette von Prozess- und Kammerkomponenten konzipiert, die auf spezifische Kundenanforderungen konfiguriert werden können. Schlüsselkomponenten sind eine Hochvakuumkammer, hochreine Gasverteilungs- und Waschanlagen, ein elektrisches Ladesystem und Temperaturregelungssysteme. Die Kammern sind mit genügend Anschlüssen ausgestattet, damit die eingehenden Wafer, Gase und Temperatursensoren schnell und genau überwacht werden können. CENTURA-Reaktor bietet ausgezeichnete Kontrolle über Substrattemperatur, Gaszusammensetzung und Prozessdruck. Es verfügt über mehrere branchenführende Technologien wie ein widerstandsfähig beheiztes Substratfutter, eine Rampendruckeinheit und fortschrittliche Gasstromregler. Diese Merkmale bieten eine höhere Prozesssteuerung, die entscheidend für die Erzielung konsistenter und wiederholbarer Prozesse ist. AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA Reaktor verfügt auch über erweiterte Metrologie-Fähigkeiten wie Automated Process Control (APC) und In-Situ Process Monitoring (IPM) Systeme. APC verwendet Routinemessdaten, um festzustellen, ob Prozessparameter vordefinierte Zielbedingungen erfüllen und/oder überschreiten. Dies kann Prozessdrift während der Abscheidung schnell erkennen und verhindern, dass die Qualität des Produkts beeinträchtigt wird. IPM ist eine Fähigkeit, die Echtzeit-Abscheidungsprozessdaten von den Reaktoren innerhalb einer Maschinenarchitektur zu überwachen; dadurch wird sichergestellt, dass die Gleichmäßigkeit des Substrats und die Prozesskontrolle beibehalten werden. AMAT CENTURA Reaktor ist ein kostengünstiges und zuverlässiges Werkzeug für mehrere komplexe Halbleiterverarbeitungsanwendungen. Dank seiner fortschrittlichen messtechnischen Fähigkeiten, Prozesskontrolle und Flexibilität ist es die ideale Wahl für qualitativ hochwertige Prozesse.