Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9288113 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA ist ein Mehrkammerreaktor, der speziell für die Halbleiterherstellung entwickelt wurde. Es ist ein zweistöckiges Clusterwerkzeug, das sowohl Plasmaätz- als auch Abscheidungsprozesse in einer Maschine bereitstellt. Die Prozesskammern sind in einer „Cluster“ -Konfiguration angeordnet, die es ermöglicht, unterschiedliche Prozesse gleichzeitig durchzuführen, wodurch die Produktion bei kleineren Merkmalen, größerem Durchsatz und verbesserten Erträgen möglich ist. AMAT CENTURA ist mit fortschrittlichen Plasmaätz- und Abscheidungstechnologien ausgestattet, die auf spezifische Kundenanforderungen zugeschnitten sind. Seine Plasmaätzkammer ist entweder mit den PlasmaCore oder PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) Prozessen ausgestattet, die optimiert werden können, um Schichtgleichmäßigkeit, Durchsatz und geometrische Genauigkeit zu maximieren. Darüber hinaus bietet APPLIED MATERIALS CENTURA auch eine zusätzliche Möglichkeit der On-the-Fly-Carrier-Steuerung während des Ätzprozesses, die für die Herstellung fortgeschrittener Geräte unerlässlich ist. Die Abscheidekammer dient in erster Linie zur Abscheidung von dicken Schichten aus Siliziumoxiden und dotierten Oxiden, jedoch können auch andere Abscheidungsprozesse auf CENTURA bewältigt werden. Die Abscheidung erfolgt entweder mit dem TEOS (Tetraethylorthosilikat) oder dem ALD (Atomic Layer Deposition) -Verfahren und kann auch auf spezifische Kundenanforderungen zugeschnitten werden. Die Abscheidungsschicht kann im Bereich von 100 bis 1000 Angström liegen und auf höhere Prozessgleichmäßigkeiten und Ausbeuten abgestimmt werden. Neben seinen Fähigkeiten als Abscheide- und Ätzreaktor bietet AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA auch einige Besonderheiten wie einen Advanced Photoresist Remover (APR) zur Entfernung von Ätzrückständen, ein Contamination Control System (CCS) zur Steuerung der Umgebung innerhalb der Kammer und eine automatisierte Prozesssteuerung (APC C Ontroller). AMAT CENTURA ist ein sehr vielseitiges und effizientes Werkzeug, das in der Lage ist, Geräteschichten von extrem hoher Qualität mit gegenüber herkömmlichen Werkzeugen deutlich verbesserten Prozessausbeuten herzustellen. Seine hochpräzisen Abscheide- und Ätzfähigkeiten in Verbindung mit seinem fortschrittlichen Kontaminationskontrollsystem und der automatisierten Prozesssteuerung sorgen für zuverlässige und konsistente Ergebnisse in einer Vielzahl von Anwendungsbereichen. Damit eignet sich APPLIED MATERIALS CENTURA bestens für die Produktion von Hochfrequenzgeräten mit modernsten Gerätearchitekturen.