Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9294341 zu verkaufen

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ID: 9294341
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2000
Rapid Thermal Processing (RTP) system, 8" AC Rack Generator rack 2000 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA ist ein Hochleistungsreaktor zur Dünnschichtabscheidung und Oberflächenbehandlung. Es wird für eine Vielzahl von Anwendungen wie Dünnschichtabscheidung, Dünnschichtätzen und Oberflächenmodifikation verwendet. Der Reaktor besteht aus zwei Hauptkomponenten - der Abscheidekammer und der Reaktoröffnung. In der Abscheidekammer ist das zu verarbeitende Substratmaterial untergebracht. Der Reaktoranschluss enthält Gaseinlass, Gasabgas- und Vakuumsystem sowie eine Reihe von Ventilen und Automatisierungskomponenten. Im Zentrum von AMAT CENTURA steht eine Elektronenstrahlkanone, die einen Elektronenstrahl hoher Intensität auf das Substratmaterial liefert. Dadurch wird das Zielmaterial ionisiert und die Ionen werden auf die Oberfläche des Substrats angezogen, wo eine chemische Reaktion stattfindet, die den gewünschten Dünnfilm erzeugt. Die Energie des Elektronenstrahls wird so gesteuert, dass eine genaue Kontrolle der Abscheidegeschwindigkeit möglich ist. ANGEWANDTE MATERIALIEN CENTURA ist in der Lage, eine Vielzahl von Materialien zu verarbeiten. Da der Abscheidevorgang im Vakuum erfolgt, ist es möglich, nahezu jedes Material, das ohne Oxidation auf die erforderliche Temperatur erhitzt werden kann, zu verarbeiten. Beim Ätzen dient eine Plasmaquelle zur Einstellung der Strahlintensität und zur Steuerung der Ätzrate. Die Steuerungs- und Automatisierungssysteme des CENTURA-Reaktors sorgen dafür, dass der gesamte Prozess einheitlich und sicher durchgeführt wird. Eine Vielzahl von Sicherheitsverriegelungen sind vorhanden, um sicherzustellen, dass gefährliche Bedingungen, wie Überdruckbeaufschlagung und abnorme elektrische Bedingungen, sofort erkannt und adressiert werden. Die Abscheidekammer und der Reaktoranschluss sind für einfachen Zugang und Wartung ausgelegt. Alle Komponenten der Einheit sind so ausgelegt, dass regelmäßige Wartungen oder Reparaturen schnell und effizient durchgeführt werden können. Gleichzeitig sind alle Komponenten so konzipiert, dass ein Höchstmaß an Sicherheit jederzeit gewahrt bleibt. AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA ist ein leistungsstarker, zuverlässiger und sicherer Reaktor zur Dünnschichtabscheidung und Oberflächenbehandlung. Es ist das ideale Werkzeug für eine Vielzahl von Anwendungen, die von der präzisen Dünnschichtabscheidung bis zur Ätzung und Oberflächenmodifizierung reichen. Mit seiner hochenergetischen Elektronenstrahlkanone, automatisierten Steuerungs- und Sicherheitssystemen und einfacher Wartung ist der AMAT CENTURA Reaktor ein Muss für jedes Labor oder jede Fertigungsanlage.
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