Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9312776 zu verkaufen

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ID: 9312776
Wafergröße: 6"
System, 6" WxZ Tungsten chamber Etch back chamber, WxZ.
AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA ist ein Mehrkammerreaktor für fortschrittliche Verarbeitungsanwendungen. Es eignet sich für die Verarbeitung eines breiten Spektrums anspruchsvoller Aufgaben wie Epitaxiewachstum, Ätzen, Trockenätzen und Metallabscheidung. AMAT CENTURA ist eine Massenproduktion, das heißt, es ist sehr zuverlässig und effizient. Der Reaktor besteht aus einer unabhängigen Quellkammer, Prozesskammer und einer Lastschloßkammer. Es verfügt über ein dynamisches Design, mit warmen Zonen, die für eine Vielzahl von Prozessen optimiert sind. Die Kammerkontroll- und Isolationssysteme sorgen für einen sicheren Betrieb und schützen die Prozessumgebung. ANGEWANDTE MATERIALIEN CENTURA bietet mehrere Heiz- und Kühlzonen, mit denen sich die Temperatur jeder Prozesskammer schnell verändern lässt, was eine optimale thermische Stabilität ermöglicht. Darüber hinaus ermöglicht ein rückseitiger Waferheizer eine gleichmäßige Temperatur, wodurch Hot Spots und andere Zuverlässigkeitsprobleme vermieden werden. CENTURA ist auch in der Lage, den Druck in den Kammern zu steuern. Es verwendet ein Durchflussprinzip und ein selbstkompensierendes Druckregelsystem. Dadurch wird sichergestellt, dass die Prozessumgebung stabil und der Ätzprozess gleichmäßig ist. Der AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA Reaktor bietet auch mehrere Prozesssteuerungswerkzeuge, um Gleichmäßigkeit zu gewährleisten und eine verbesserte Prozessleistung zu erzielen. Mit diesen Werkzeugen können Benutzer den Gasfluss überwachen, die Substrattemperatur steuern und die Druckwerte einstellen. Darüber hinaus bieten die integrierten automatisierten Wafer-Handling-Systeme den Anwendern die Möglichkeit, Wafer schnell und bequem zwischen Kammern zu übertragen. Darüber hinaus verfügt der AMAT CENTURA Reaktor über eine robuste Sicherheits- und Wartungseinheit. Diese Maschine umfasst Funktionen wie automatischen Überlastschutz, sensorgesteuerte Operationen, End-of-Run-Diagnosen und ein vorausschauendes Wartungstool. Auf diese Weise können Anwender sicherstellen, dass ihr Reaktor immer mit Spitzenleistung arbeitet und ihnen die Sicherheit bieten, dass ihre Prozessergebnisse wie angegeben sind. Insgesamt ist APPLIED MATERIALS CENTURA ein zuverlässiger und effizienter Reaktor für komplexe Prozessanwendungen mit hohem Durchsatz. Es bietet zahlreiche Prozesssteuerungstools und automatisierte Wafer-Handling-Systeme für Anwender, um verschiedene Prozesse einfach zu verwalten. Darüber hinaus bietet die robuste Sicherheits- und Wartungsanlage den Anwendern das Vertrauen, dass ihr Reaktor effizient arbeitet und zuverlässige Prozessergebnisse erzielt.
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